Gebraucht INSPECTROLOGY IVS-165 #9390277 zu verkaufen

INSPECTROLOGY IVS-165
ID: 9390277
CD Measurement system LEICA 020-654.113-000 UV365 Microscope Objectives: PL Fluotar 5x/0.12 PL Fluotar L50x/0.55BD Plan 20x/0.40.
INSPECTROLOGY IVS-165 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für genaue Messungen mit hohem Durchsatz für fortschrittliche Halbleitertechnologien entwickelt wurde. Unter Verwendung einer modularen, zerstörungsfreien Prüfmethode ist das System in der Lage, präzise Testergebnisse mit minimalen Probenschäden zu liefern. Diese Wafer-Prüf- und Inspektionseinheit verfügt über ein patentiertes XY/ Θ-Bühnendesign kombiniert mit fortschrittlicher Optik und fortschrittlichen Bildverarbeitungstechniken. Hochgenaue, vierachsige Waferbewegung wird durch die Kombination der XY/ Θ Bühnen- und Luftlagerpositionierungstechnologie realisiert. In Kombination mit Objektivlinsen und Beleuchtungsquellen kann es die Breite, Höhe und Tiefe der Probenmerkmale mit einer Präzision von bis zu 1,5 μ m messen. Zusätzlich ermöglicht die Hochgeschwindigkeitsbewegung bis zu 1.000 Abbildungszyklen pro Sekunde für schnelle Messungen von IC-Elementen. IVS-165 Maschine ermöglicht die Inspektion verschiedener Arten von Halbleiterscheiben wie SOI und MEMS. Es ist ideal für Anwendungen wie Wafer-Mapping, Wafer-Fehleranalyse und Produktqualitätssicherung. Bei der Charakterisierung von MEMS-Geräten ist das Werkzeug in der Lage, einzelne Schichten und deren Merkmale mit einer Auflösung von bis zu 1 μ m zu messen und zu analysieren. Es ist auch in der Lage, Strukturen wie Linienbreiten, Kontaktlöcher, Ausrichtungsmarken und sogar 3D-Strukturen bis 1,5 μ m abzubilden und zu analysieren. Für die Fehler- und Prozessüberwachung ist das Asset in der Lage, kleinere Fehler zu erkennen, einschließlich Lochfraß und Hohlräume, die bis zu einem halben Mikron messen. INSPECTROLOGY IVS-165 Modell kommt mit einem kompletten Satz von Software-Tools für eine komfortable Bildanalyse und Fehlerüberwachung. Die Software-Suite ermöglicht Benutzern den Zugriff auf Echtzeitmessungen, robuste Berichte und Datenanalysen nach dem Test. Die Werkzeuge können automatisierte Fehlercharakterisierung, Bildvergleich und Fehlererkennung durchführen. Darüber hinaus verfügt die Software über Funktionen wie Stapelverarbeitung, Qualitätskontrollberichte und Analyse spezifischer Messungen. IVS-165 ist eine vielseitige und zuverlässige Wafer-Prüf- und Messtechnik, die den Anforderungen der Halbleiterherstellung gerecht wird. Mit seinen leistungsstarken Bildgebungs- und Bewegungsfunktionen ist das System in der Lage, schnelle und genaue Messungen mit geringen Probenschäden bereitzustellen. Die gebündelten Software-Tools machen es zu einer idealen Plattform für Fehlerprüfung, Prozessüberwachung und Produktqualitätssicherung.
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