Gebraucht ISIS SENTRONICS SemDex 301-34 #9129394 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9129394
Weinlese: 2013
Wafer metrology system
Maximum accessible diameter: 210 mm (StraDex a3-50)
Accessible rotation: 90° / 180°
Auto focus
StraDex a3 - 50 (Precision mechanical bearing)
StraDex f24 - 300 (Airbearing)
Antivibration plate below chuck
Optical wavelengths:
StraDex a3 - 50: ~500 nm (Maximum height evaluation 120 μm)
StraDex f24 - 300: 1300 nm (Minimum silicon thickness 10 μm)
(2) Calibrated silicon objects:
123 μm thick plate with 10 nm roughness
300 μm thick plate with 1 nm roughness
Technical specifications:
Sensor system:
StraDex a3 - 50 (top left):
Field-of-view: (0.35 mm)^2
Lateral pixel size: 0.35 μm
Working distance: 3.5 mm
Auto-focus range: 4 mm
Maxmimum warp: <3 mm
Maximum Z-height: 60 μm (High-resolution ) / 120 μm
Repeatability (high-resolution): 0.5 nm (In-plane), 3 nm (step)
Total acquisition time: Type 4 seconds, 1 seconds (Reduced FOV)
Maximum focusing speed: 200 pm/s
StraDex f24 - 300 (Top & Bottom center):
Spot size: 24 μm
Auto-focus range: 24 - 44 mm
Maximum warp: 1.5 mm
Maximum acquisition rate (Fast mode): 4 kHz
Thickness (Silicon):
10-350 μm (Fast mode)
10 - 800 μm (Slow mode)
Thickness (Glass, Polymer):
20 - 750 μm (Fast mode)
20 - 1000 μm (Slow mode)
Acquisition rate: <4 kHz
Accuracy and repeatability conditions:
Surface roughness Rz < 0.1 μm
Confidence range: 2 Sigma
Thickness sensor (Stradex f24 - 300) performance:
Absolute accuracy: < +/- 0.5 μm
Repeatability (fast mode): < +/- 0.1 μm
Repeatability (slow mode): < +/- 0.5 μm
Stage:
Maximum X / Y Travel range: 300 x 300 mm^2
Maximum velocity: 30 mm/s
Lateral accuracy: 2 μm
Maximum height variation repeatable: 2 μm
Free positioning via keypads
Anti-vibration table
Air suspension
Perforated vacuum:
Chuck for double side (Swiss cheese)
Unframed and framed wafers for 6"-12"
Inter-center spacing: 10 mm Holes at 20 mm
Vacuum for wafer suction (6 Bar air pressure required)
Computer: Intel i7 with screen
(2) HDD Raids
With (2) 1TB
Fan filter unit: ISO Class 10
Housing: White powdered coating
Data interface: LAN
Temperature: 10°C-35°C
Power supply: 100-240 V, 50-60 Hz, 3kW
Barcode scanner
Barcode and recipe
SECS/GEM Extension:
SEMI (E 30, E 37, E 5) Includes
Recipe handling (RMS)
2013 vintage.
ISIS SENTRONICS SemDex 301-34 ist ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das für Halbleiterproduktions-, Inspektions- und Verpackungsanwendungen entwickelt wurde. Es wird von einem fortschrittlichen optischen Sensor- und Inspektionssystem angetrieben, das speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es bietet eine integrierte Lösung für Fehlererkennung, Topographieanalyse, elektrische Charakterisierung, Overlay und Positionsregistrierung sowie 2D/3D-Waferinspektion. SemDex 301-34 verfügt über eine Vielzahl von Gravur- und Scantechnologien zur Durchführung von Prozess- und Messtechniken. Das Gerät ist mit einer kompletten Suite von On-Board-Bildgebungswerkzeugen ausgestattet, einschließlich einer Reihe von Laser-, Linien- und AutoTrack-Kameras. Integriert ist ein in-process elektrisches Testsystem, das eine Echtzeit-Berichterstattung über die elektrischen Parameter von geprüften Geräten ermöglicht. ISIS SENTRONICS SemDex 301-34 bietet detaillierte Werkzeugabbildungsfunktionen, mit denen Benutzer die Orte aller Fehler genau überprüfen können. Zur genauen Charakterisierung des gesamten Wafers stehen verschiedene Hochgeschwindigkeits-Scanmodi zur Verfügung, und die hochauflösenden Bildgebungswerkzeuge ermöglichen es, auch kleinste Fehler zu erkennen. Das Gerät liefert überlegene Ergebnisse unabhängig vom Waferzustand und ist in der Lage, Wafer jeder Größe, Form und Dicke zu inspizieren. SemDex 301-34 bietet zudem leistungsstarke Overlay- und Offset-Verwaltungsfunktionen. Ein Echtzeit-Offset-Analysator bietet Abdeckungsmessungen bis zu 5 Nanometer, um eine präzise Ausrichtung des Wafers während des Scannens zu gewährleisten. Zur schnellen, automatisierten Fehlerbewertung und Datenanalyse werden Chargeninspektions- und Mustererkennungsmerkmale bereitgestellt. ISIS SENTRONICS SemDex 301-34 ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug für Halbleiterprüfungs-, Inspektions- und Verpackungsanforderungen. Sein robustes Design und seine fortschrittlichen Fähigkeiten machen es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet, von einfachen Werkzeugprüfungen bis hin zu komplexen Prozess- und Messtechnik-Operationen. SemDex 301-34 kann verwendet werden, um höhere Ertragsraten zu erzielen, Kosten zu senken und eine maximale Qualitätssicherung im Halbleiterbereich zu gewährleisten.
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