Gebraucht JMAR Mirage #140281 zu verkaufen
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ID: 140281
Precision laser measurement system
Turbo PMAC control
Camera
Objectives
Control computer with software installed
Keyboard, monitor, joystick control
(3) SCHOTT DCR III light sources with fiber optic lights.
JMAR Mirage ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die bei der Verbesserung der Produktion von Halbleitern hilft. Das System besteht aus verschiedenen Komponenten, die zusammenarbeiten, um eine effiziente Prüfung und Messtechnik von Halbleitern zu ermöglichen. Das Gerät umfasst eine fortschrittliche Optik, wie z. B. eine telezentrische Abbildungsoptik, für die Probenbildgebung sowie eine vollständige spektrale Abdeckung von tiefem UV bis nahe IR. Zur präzisen Ausrichtung und Abtastung der Proben wird eine hochauflösende 3-Achsen-Stufe verwendet. Die Probe wird mit sichtbarem und infrarotem Licht beleuchtet und das reflektierte Signal mit einem CCD-Abbildungsdetektor erfasst. Der CCD-Detektor bietet auch Wärmebildfunktionen, die genauere messtechnische Messungen ermöglichen. In der Messtechnik ist Mirage mit einem fortschrittlichen 3D-Scanner ausgestattet, der optische und mechanische Technologie integriert, um schnelle und genaue Messungen sowohl der Halbleitertopographie als auch der mikroskopischen Merkmale zu erfassen. Der erweiterte Scanner erfasst präzise KE-Form und -Dynamik, einschließlich KE-Höhe, Planarität und KE-Größe. Die Maschine verfügt auch über eine Nano IntutionTM Software zur genauen Erkennung und Messung von Unterflächenfehlern und Verunreinigungen. JMAR Mirage verfügt auch über eine Vielzahl von Messfähigkeiten, einschließlich Overlay und Ausrichtung, CD und SEM Defekt-Messung, Foliendicke und Spannungsbewertung, Feature-Gleichmäßigkeit, Verzug und Litho-Retikel. Das Tool verfügt auch über eine Vielzahl von Analysefunktionen wie interaktive Mustererkennung, automatische Fehlerklassifizierung und Lebenszeitmanagement. Insgesamt ist Mirage ein effizientes Wafer-Test- und Messtechnik-Asset, das Halbleiterherstellern helfen kann, ihre Produktionserträge zu steigern und die Qualität zu verbessern. Das Modell bietet eine hohe optische Auflösung, schnelle Akquisitionsgeschwindigkeiten und einen vielseitigen Satz von Messungen und Analysewerkzeugen.
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