Gebraucht KEVEX Omicron 952-102 #63742 zu verkaufen
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ID: 63742
XRF spectrometer
Pentium II MMX, 333 mHz
64 MB RAM, 6 GB HDD
Ultra Link Model 118 ISA Card
Windows 98
Omincon v2.21
Kevex XRF Monitor v7.0
Kevex SDP (Spectrum Display Panel) v2.1
Kevex VideoApp v1.0
Kevex WinXRF v2.21
Input Voltage: 120 VAC only.
KEVEX Omicron 952-102 Wafer Testing and Metrology Equipment ist eine Präzisionsprüfplattform zur Prüfung von Halbleiterscheiben. Sie ist für Prozeßentwicklung, Charakterisierung und Qualitätskontrolle in der Halbleiterherstellung vorgesehen. Das System besteht aus einem motorisierten Wafertisch, einem Trägergehäuse und einem hochauflösenden optischen Inspektionsmikroskop. Der Wafertisch ist in der Lage, Wafer mit einer Genauigkeit von bis zu 1,5 μ m zu positionieren. Das optische Mikroskop hat die Fähigkeit, kleine kritische Abmessungen an der Oberfläche des Wafers wie Gatelängen und Gerätegrößen sowie andere Merkmale mit einer Genauigkeit von 2 μ m oder besser zu messen. Sowohl ebene als auch geneigte Flächen können gemessen werden. Omicron 952-102 Einheit bietet eine Vielzahl von Messeigenschaften, einschließlich Vektormessfähigkeit, die verwendet werden können, um nicht-planare Oberflächen sowie Ausrichtungsmessung zu messen. Diese Maschine verfügt auch über einen Top-Down-Betrachtungsmodus, mit dem KE-Geometrien wie Höhenprofil oder Oberflächenkonturen gemessen werden können. Die vom Tool erfassten Daten werden von einer CCD-Kamera auf den Computer ACIS (Advanced Computer Imaging Asset) übertragen. Der ACIS-Computer digitalisiert das Bild und bietet Bildverarbeitung, -analyse und -speicherung. Bilder können verarbeitet werden, um Fehler wie Kontamination, Mikro-Voiding und Defekte durch Linienmuster zu erkennen. Die fortschrittliche Software Digital Imaging and Analysis (DIA) ermöglicht eine detaillierte Messung und Analyse. Darüber hinaus bietet das Modell erweiterte Konnektivitätsoptionen, mit denen es in automatisierte Testsysteme integriert werden kann. KEVEX Omicron 952-102 ist eine vielseitige, leistungsstarke Plattform zum Testen, Messen und Analysieren von Halbleiterscheiben. Es unterstützt eine breite Palette von Wafergrößen und ist hochgenau für Tests, Messtechnik und Fehlererkennung. Darüber hinaus sind seine erweiterten Funktionen und Konnektivitätsoptionen eine ideale Lösung für automatisierte Tests und Prozessentwicklung.
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