Gebraucht KEYENCE LK-G11 #9109318 zu verkaufen
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KEYENCE LK-G11 ist eine automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik, die zur Inspektion von Halbleiterscheiben auf eine Vielzahl von Defekten und Eigenschaften verwendet wird. Das System ist in der Lage, hochpräzise Messungen durchzuführen und mehrere Wafer gleichzeitig zu testen. Das Gerät basiert auf einem 200mm automatischen Load Port und kann TEL (Top Examination Loader), FOUP (Front Opening Unified Pod) und JEDEC Probenkassetten akzeptieren. Es ist in der Lage, Mustererkennung mit einem speziellen Mikroskop und ist mit einer Reihe von Hard- und Software-Anwendungen mit verschiedenen Charakterisierungsfunktionen ausgestattet. Es kann verwendet werden, um eine Reihe von Halbleiterscheiben einschließlich GaAs (Gallium Arsenide), Si (Silizium), SiGe (Silizium-Germanium), SOI (Silizium-on-Isolator) und COO (Complementary On-Off) Wafer zu überprüfen. Die Maschine ist mit einer hochgenauen Messfunktion gebaut, die unabhängige optische und lineare Skalen für genaue Messungen verwendet. Es ist auch mit Funktionen für die Mehrpunkt-Parameterabbildung ausgestattet, die mehrere Punkte auf einem Wafer gleichzeitig messen und untersuchen können und Produkteigenschaften über einen einzelnen Wafer genau messen können. Es kann auch verwendet werden, um die elektrischen Eigenschaften des Produkts zu analysieren und Fehler auf Mikroebene, wie Kratzer, Späne und Brückenfehler, sowie die Topographie und Oberflächenverschmutzung des Produkts zu erkennen und zu messen. Die fortschrittliche Software des Tools ermöglicht eine einfache Datenerfassung auf dem Wafer mit mehreren variablen und messtechnischen Funktionen. Es ist auch in der Lage, Berichte mit grafischen Wafer-Map und statistischen Reporting-Funktionen zu erstellen, so dass die Analyse von Messdaten auf verschiedene Weise. LK-G11 bietet ein zuverlässiges und genaues Mittel zur Inspektion und Prüfung einer Reihe verschiedener Wafer-Proben und -Produkte und ist damit ein unschätzbares Werkzeug für Laboratorien, die an der Verarbeitung und Messtechnik von Halbleiterscheiben beteiligt sind.
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