Gebraucht KLA / FILMETRICS F20 #293637542 zu verkaufen

KLA/FILMETRICS F20 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um zuverlässige, wiederholbare und genaue Messungen verschiedener Eigenschaften von Halbleiterscheiben bereitzustellen. Das System verwendet Lichtinterferenztechnologie, um eine Vielzahl von Materialeigenschaften genau zu charakterisieren, einschließlich Dicke, Topographie und andere Oberflächeneigenschaften. KLA F20 besteht aus vier Hauptkomponenten: Präzisionsstufe, Lichtquelle, Optik und Elektronik. Mit der Präzisionsstufe wird der Wafer gescannt und der Ort relativ zur Lichtquelle gesteuert. Die Lichtquellen sind hochstabile LEDs, die Licht in der sichtbaren Wellenlänge emittieren. Bei der Optik handelt es sich um speziell ausgebildete Linsen und Filter, die die Richtung und Polarisation des emittierten Lichts steuern. Die elektronischen Komponenten liefern die Leistung und die notwendigen Daten an das Gerät. FILMETRICS F20 hat zwei Arten von eingebauten Messparametern: Einzelpunkt und linearen Scan. Bei Einzelpunktmessungen bewegt sich die Stufe an einen benutzerdefinierten Ort, und die Maschine misst die Spitze-Spitze-Amplitude des reflektierten Lichts. Diese Informationen werden dann verwendet, um die Dicke, Topographie und andere Materialeigenschaften des Wafers zu berechnen. Bei linearen Abtastmessungen definiert der Benutzer einen Pfad und das Werkzeug scannt den Wafer mit dem gleichen Messverfahren für die Amplitudenspitze wie bei Einzelpunktmessungen. Anschließend werden alle Daten gesammelt und verarbeitet, um eine 2D-Topographiekarte zu erzeugen. F20 wurde entwickelt, um schnelle, genaue und wiederholbare Messungen von Wafern bereitzustellen. Die Onboard-Elektronik verwendet fortschrittliche Algorithmen, um Änderungen in Bedingungen wie thermische Drift und Vibration anzupassen. Die Anlage ermöglicht auch die Überprüfung der Messgenauigkeit und Wiederholbarkeit und gibt Feedback, wenn eine Messung außerhalb der Toleranz ist. KLA/FILMETRICS F20 verfügt über ein optionales SRS-Modul, das kundenspezifische Charakterisierungskorrelationsmessungen vornimmt. KLA F20 ist ein ideales Werkzeug zur Werkstoffprüfung und Prozesssteuerung von Halbleiterscheiben. Das Modell ist einfach zu installieren, zu bedienen und zu warten und bietet eine benutzerfreundliche Bedienung. Es bietet eine breite Palette von Messmöglichkeiten für die genaue Charakterisierung von Wafern bei hoher Geschwindigkeit.