Gebraucht KLA / TENCOR 0266951-001AA #9401899 zu verkaufen
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KLA/TENCOR 0266951-001AA Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung ist ein hochentwickeltes System entwickelt, um wiederholbare, hochgenaue Messungen auf Nanometerebene und schneller zu liefern. Das Gerät vereint eine Vielzahl von Hardware-, Software- und Kalibrierwerkzeugen, um eine detaillierte Oberflächen- und Fremdmaterialanalyse von integrierten Schaltungen (ICs) in Waferform zu liefern. Der Hardwareteil der Maschine besteht aus einer aktiven Waferstufe, mit der bis zu fünf Wafer gleichzeitig geladen werden können, einem automatisierten Ausrichtwerkzeug sowie einem integrierten Maßmessgerät (Mikroskop) und Dual-Digital-Videokameras. Der Softwareteil umfasst ein Bilderfassungsmodul, ein integriertes Bildanalysemodul und einen automatisierten Berichtsgenerator. Die automatisierte Ausrichteinrichtung umfasst ein Vakuumaufnahmewerkzeug und einen motorisierten Probenhalter, der zusammenarbeitet, um eine präzise, wiederholbare Positionierung der Wafer und aller anderen auf die Waferstufe geladenen Gegenstände zu gewährleisten. Das Mikroskop ermöglicht es dem Bediener, Geräte mit Auflösungen bis zu 40X in extrem engem Bereich auf Oberflächenfehler und andere Anomalien zu untersuchen. Die doppelten digitalen Videokameras ermöglichen es dem Bediener, Bilder bei bis zu 1000X zu überprüfen. Das Bildaufnahmemodul erfasst Bilder in einer Vielzahl von Formaten, einschließlich Monochrom, RGB, YUV und einigen anderen, und ermöglicht es dem Bediener, Verstärkung, Leuchtdichte und Offset-Werte einzustellen und anzupassen. Das Bildanalysemodul misst Gerätegröße, Form und Platzierung und berechnet etwaige Defekte. Der automatisierte Berichtsgenerator sammelt, aggregiert und kompiliert Daten in einem Excel-kompatiblen Bericht. KLA 0266951-001AA ist für die anspruchsvollsten Messungen konzipiert, mit der Fähigkeit, bis auf Nanometerwerte, bis zu 20 Millionen oder mehr Punkte pro Wafer und mit 2 Sigma-Wiederholgenauigkeit zu messen. Das Modell ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug für die Qualitätskontrolle und Analyse von ICs und anderen Geräten in Waferform, was es zu einem unschätzbaren Vorteil für jeden Hersteller oder Forschungseinrichtungen macht.
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