Gebraucht KLA / TENCOR 1010 #9277070 zu verkaufen

KLA / TENCOR 1010
ID: 9277070
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR 1010 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die sowohl die Charakterisierung auf Forschungsebene als auch die Serienproduktion in der Halbleiterindustrie unterstützt. Das System basiert auf einer intuitiven Benutzeroberfläche, mit der Bediener verschiedene Metrologie-Algorithmen für Wafertests schnell konfigurieren, ausführen und analysieren können. Die KLA 1010-Einheit wurde entwickelt, um den anspruchsvollen Anforderungen des Halbleiterherstellungsprozesses gerecht zu werden. Es hat eine fortschrittliche Optik, um die Eigenschaften von Licht zu steuern, das bei der Prüfung verwendet wird, zusammen mit den fortschrittlichen Algorithmus-Suiten, um Messungen von den Testwafern schnell und genau zu erfassen. Die Maschine arbeitet sowohl mit transmissiven als auch mit reflektierenden Proben, so dass sie eine breite Palette von messtechnischen Daten erfassen kann. Die fortschrittliche Optik des Werkzeugs besteht aus einem Laserinterferometer, mit dem hochdetaillierte 3D-Bilder der Wafer erzeugt werden. Die optische Konfiguration schafft eine hochauflösende Fokusebene, die es dem Asset ermöglicht, Datenpunkte bis zu 20-mal genauer zu erfassen als herkömmliche Wafer-Testmethoden. TENCOR 1010 bietet eine breite Palette von Mess- und Kartierungsmöglichkeiten. Dazu gehören Merkmalserkennung, Verschmutzungserkennung, Schichtdickenanalyse und Ebenheitsanalyse. Es verfügt über eine robuste Algorithmus-Suite, die gleichzeitig mehrere Schichten eines Wafers messen kann. Darüber hinaus kann das Modell Ebenheit über mehrere Schichten messen und prozessbedingte Defekte wie Mikrokratzer und Stiftlöcher identifizieren. Die erweiterte Software-Suite von KLA bietet auch Funktionen zur Datenvisualisierung, mit denen Benutzer die Testergebnisse im Laufe der Zeit vergleichen können. Das Gerät verfügt über fortschrittliche Analysetools zum Vergleich von Wafer-Testdaten sowie Predictive Analytics, die potenzielle Probleme identifizieren können, bevor sie weitere Schäden verursachen. Das System bietet auch eine breite Palette von Rückverfolgbarkeitsfunktionen, die dazu beitragen, dass Qualitäts- und Regulierungsstandards eingehalten werden. Insgesamt ist 1010 eine fortschrittliche Einheit, die den Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Mit ihrer leistungsstarken Optik und den fortschrittlichen Algorithmus-Suiten bietet die Maschine die für die Charakterisierung auf Forschungsebene erforderliche Flexibilität und Genauigkeit sowie zuverlässige Langzeitdaten für Produktionsstandmessungen. Damit ist es das ideale Werkzeug für Halbleiterhersteller, die nach einer umfassenden Wafer-Testlösung suchen.
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