Gebraucht KLA / TENCOR 2915 #9168923 zu verkaufen
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ID: 9168923
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2012
Inspection system, 12"
2900 Ducting DFIHS
PHOENIX v2.0 VQ line
45 kVA 25 Cassette HH
12" SW
DSH 065
Haze
Shiny 2915 IDA rack
E84 Error recovery suite
Dual E84 RGV & OHT, PHX, DFIK
SHHKO E87 / E39
E90 K40 / K94 GEM / SECS
HSHS 2 Onron VG40 V3 CID
PHX SHHKO Safety skirt
DFIHS, PHX OHT, E-stop and lockout, DF
PHX Dual loadport info pad kit
G4 FIHS Ionization remote blower conversion kit
Blower cable: 290X/1X (50ft) 20m
Main power cable: 290X/1X
2900 Logic and memory inspection modes
Optics available: 0.05, 0.065, 0.08, 0.09, 0.12, 0.16, 0.2, 0.22
Exposure modes:
Blue band
Broad band
UV Deep band
UV Middle band
UV Ultra broad band
Ultra deep band
GH I Line
G Line
HI Line
I Line VIS
2012 vintage.
KLA/TENCOR 2915 ist eine automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik für die Herstellung von Hochleistungs-Halbleiterbauelementen. Es bietet komplette digitale Test- und Messtechnik-Funktionen für die fortschrittlichste Photolithographie-Ausrüstung der Branche. Das System ist eine volldigitale, automatisierte und Weißlicht-Messtechnik-Plattform, die eine extrem genaue Messung kleiner Merkmale auf Halbleiterscheiben ermöglicht. Das Gerät verwendet eine fortschrittliche optische Bildgebungsmaschine, um kleinere Merkmale mit Nanometergenauigkeit genau zu messen. Es ist in der Lage, bis zu maximal 10.000 Waferparameter zu messen, darunter: Linienbreiten, kritische Abmessungen (CDs), Kantenabweichungen und Ebenheit von Waferoberflächen. Das Tool umfasst zwei Module: den ADC (Analog-Digital-Wandler) und das Metrologiemodul. Das ADC-Modul wandelt analoge Informationen in digitale Daten um; das Metrologiemodul erfasst Bilder von Waferoberflächen, die dann auf Genauigkeit analysiert werden. Das Asset bietet eine schnelle Datenerfassung und kann Funktionen auf dem Wafer automatisch erkennen und identifizieren. Das Modell basiert auf einer zuverlässigen Softwareplattform, die überlegene Datenverwaltungstools und eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche bietet. Es verfügt auch über eine Vielzahl von Softwaremodulen, die entwickelt wurden, um die Daten zu analysieren und in einem leicht verständlichen Format zu präsentieren. Die Ausrüstung wurde entwickelt, um die verfügbaren Industriestandards wie SEMI und ISO voll zu nutzen. Es ist voll kompatibel mit den fortschrittlichsten Halbleiterherstellungswerkzeugen und -geräten der Industrie. Es ist auch mit einem einfachen Upgrade-Pfad gebaut, so dass Benutzer leicht erweitern die Fähigkeiten des Systems nach Bedarf. KLA 2915 bietet eine breite Palette von Funktionen und Vorteilen, um die High-Tech-Industrie zu unterstützen. Es bietet Benutzern die Möglichkeit, extrem genaue Daten schnell und effizient zu erfassen und zu analysieren. Es ist für einfache Bedienung und minimale Wartung konzipiert und liefert qualitativ hochwertige Test- und Messergebnisse. Darüber hinaus sorgt die ausgezeichnete Softwareplattform für Kompatibilität mit anderen Geräten der Branche. Das Gerät TENCOR 2915 wurde entwickelt, um eine vollständige und äußerst zuverlässige Lösung für Wafertests und messtechnische Anforderungen bereitzustellen. Die fortschrittliche optische Bildgebung, die schnelle Datenerfassung und die intuitive Software machen es zu einer idealen Wahl für jede Halbleiterproduktionslinie.
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