Gebraucht KLA / TENCOR 365 UV #9353977 zu verkaufen
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ID: 9353977
Weinlese: 2000
Defect inspection system
INTERNOVA ICLS-RTX Mask aligner
SMIF
Main body:
MLS
Robot arm
Robot and controller
Stage
COHERENT i-Line laser
He Ne Laser
Optic module
Board
Facilities module:
Heater exchanger
COHERENT i-Line laser controller
Power supply
With KLA 60 (KLA 50):
Board
PC Monitor
Board power supply
IC Board
2000 vintage.
KLA/TENCOR 365 UV ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Analyse einer Vielzahl von Halbleiterbauelementen und Nanostrukturen. Das System verfügt über ein hochauflösendes, fortschrittliches optisches Vierwegmikroskop, das in der Lage ist, mikroelektronische Komponenten nanoskalig abzubilden. Es integriert mehrere Detektoren (Sonde, UV-Photomultiplier und Bildgebung) in die optische Mikroskopeinheit und kann verschiedene physikalische, elektrische und chemische Eigenschaften der Wafer messen. Darüber hinaus enthält es einen proprietären Autofokus-Algorithmus zur Präzisionsfokussierung und 3D-Tiefenschärfe. Diese Maschine besitzt branchenführende Genauigkeit und Empfindlichkeit. Es ist in der Lage, CD-SEM-Bildgebung und Messung in nanoskaliger Auflösung durchzuführen und bietet Anwendern einen besseren Einblick in nanoskalige Herstellungsprozesse und potenzielle Fehlererkennung. Mit einer Vielzahl automatisierter Parametereinstellungen ist KLA 365 UV für den Einsatz in Forschung und Entwicklung, Produktion und Qualitätssicherung optimiert. Das TENCOR 365 UV-Tool ist mit einer intuitiven Benutzeroberfläche ausgestattet, die einen optimierten Workflow und eine effiziente Bedienung ermöglicht. Eine Vielzahl von Tools sind integriert, um die Produktivität zu maximieren, einschließlich einer Smart Reports-Funktion, um benutzerdefinierte Berichte zu erstellen, die den Benutzeranforderungen entsprechen. Das Asset ist mit führenden Softwarepaketen kompatibel und verfügt über eine Reihe von Datenexportformaten für eine nahtlose Zusammenstellung und gemeinsame Nutzung von Ergebnissen. Neben seiner überlegenen Leistung bietet 365 UV auch ein robustes und robustes Sicherheitsdesign. Das Modell umfasst einen Sicherheitslichtvorhang und einen digitalen E/A-Schutz, um sicherzustellen, dass alle Anwender vor gefährlichen Strahlungen und den Risiken einer Stromabgabe geschützt sind. Darüber hinaus ist KLA/TENCOR 365 UV in voller Übereinstimmung mit ISO und TÜV-Normen und hat mehrere strenge Sicherheitsprüfungen bestanden. KLA 365 UV ist eine extreme Durchsatz-Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die Anwendern die genauesten Ergebnisse und das höchste Maß an Sicherheit bietet. Dieses vielseitige System ermöglicht eine schnelle und mühelose Analyse aller Arten von Halbleiterbauelementen und Nanostrukturen, um höchste Qualität zu gewährleisten und zuverlässigste Bauelemente zu produzieren.
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