Gebraucht KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #131418 zu verkaufen
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ID: 131418
Wafergröße: 4", 5", 6"
Wafer inspection system
Unpatterned wafer
Resolution: 0.3 microns at 95%
Capture based on latex calibration wafers
Substrate Material: Silicon
Substrate Thickness: 0.3 - 0.75 mm
Substrate size: 4", 5", 6"
Throughput up to 60 wafers/hour.
KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN ist eine Ausrüstung für fortgeschrittene Wafertests und Messtechnik. Dieses System bietet Anwendern eine hocheffiziente und kostengünstige Möglichkeit, eine Vielzahl von Wafereigenschaften zu messen und zu überprüfen. Die neue Wafer-Test- und Messtechnik-Einheit ist vor allem für ihre fortschrittliche Hardware, intelligente Software und erweiterte Bildanalysefunktionen bekannt. Die Maschine verwendet ein optisches X1-Mikroskop, um Bilder der Probenoberfläche mit einem großen Sichtfeld zu erfassen. Diese Funktion ermöglicht große Flächenmessungen, so dass Benutzer die benötigten Daten mit minimalem Aufwand schnell und präzise abrufen können. Das X1-Mikroskop ist zudem mit einer automatisierten Fokusfunktion ausgestattet, die Anwenderfehler bei der Messung reduziert. Das Tool enthält außerdem einen Mustererkennungsalgorithmus, der automatisierte Messungen und Fehlererkennungen ermöglicht. Dieser Algorithmus wurde entwickelt, um kleinste Abweichungen von gewünschten Mustergrößen, Formen und Oberflächentopologien zu erkennen. Darüber hinaus verfügt das Asset über eine proprietäre Software-Engine, die erweiterte Messungen und Fehlererkennungen ermöglicht. Diese Software bietet Benutzern die Möglichkeit, Schwellenwerte zu definieren, Parameter festzulegen, Prozessabläufe einzurichten und Nachbearbeitungsvorgänge durchzuführen. KLA 4000 SURFSCAN bietet Anwendern auch eine Reihe weiterer innovativer Funktionen. Zum Beispiel unterstützt es eine breite Palette von Wafer-Prüfelementen wie dimensionale messtechnische Messungen. Darüber hinaus ist es in der Lage, auch auf schwierigsten Oberflächen schwierigste Defekte zu erkennen oder zu lokalisieren. Das Modell ist auch mit vielen Standardformaten kompatibel, einschließlich STDF, ITRF und SAW. Um eine hohe Leistung zu gewährleisten, umfasst die Ausrüstung verschiedene Sicherheitsmerkmale. Dies beinhaltet eine automatische Belichtungssteuerung zur Aufrechterhaltung optimierter Abbildungsniveaus und eine integrierte Überspannungsschutzfunktion zum Schutz von Proben vor Beschädigungen. TENCOR 4000 SURFSCAN beinhaltet auch eine hochpräzise Vakuumstufe, die eine genaue Ausrichtung und konsistente Probenhandhabung gewährleistet. Insgesamt ist 4000 SURFSCAN ein zuverlässiges und wirtschaftliches Wafer-Prüf- und Messsystem. Mit seinen fortschrittlichen Bildanalysefunktionen und seiner robusten Software-Engine bietet es Anwendern eine hocheffiziente und kostengünstige Möglichkeit, Wafereigenschaften zu optimieren und Fehler schnell zu erkennen.
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