Gebraucht KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #293590366 zu verkaufen

KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN
ID: 293590366
Inspection system.
KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die speziell für hochpräzise Messungen der Wafer-Topographie entwickelt wurde. Das System besteht aus einem optischen Mikroskop, einer Präzisions-C-Achsen-Stufe, interferometrischen Profilen, Rastertunnelmikroskop (STM), optischem Streugerät und einer statistischen Auswerteeinheit. Die Maschine wurde entwickelt, um die gesamte Topographie eines Wafers einschließlich Größe, Form und Oberflächenvariabilität vollständig zu analysieren. Das optische Mikroskop von KLA 4000 SURFSCAN ist mit einer hochwertigen Digitalkamera ausgestattet und liefert ein hochauflösendes Bild der Topographie eines Wafers. Diese Daten können dann mit der Präzisionsstufe c-Achse ausgewertet werden. Die c-Achsen-Stufe ist in der Lage, den Wafer sowohl in der x- als auch in der y-Achse zu bewegen und ermöglicht extrem präzise Messungen bis in den Nanometermaßstab. Die Präzisions-C-Achsen-Stufe ist auch automatisierbar und bietet wiederholbare Genauigkeit für jede Messung. Die interferometrischen Profiler von TENCOR 4000 SURFSCAN sind in der Lage, die feineren Details der Oberfläche eines Wafers zu messen. Diese Profiler sind in der Lage, Höhenvariationen bis zum atomaren Niveau aufzudecken und hochauflösende 3D-Bilder der Topographie eines Wafers zu erzeugen. Die hochauflösenden Bilder bieten unschätzbare Einblicke in die Gleichmäßigkeit und Eigenschaften der Oberfläche. Zusätzlich ist 4000 SURFSCAN-Werkzeug mit einem optischen Streuungsmesser ausgestattet, das Oberflächenrauhigkeit, Textur und Streuungsmuster erfassen kann. Das optische Streumessgerät ist in der Lage, verschiedene Merkmalstypen auf einem Wafer zu unterscheiden und deren Abmessungen zu quantifizieren. Schließlich ist KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN mit einer ausgeklügelten statistischen Analyse ausgestattet. Dieses Modell bietet eine automatisierte Korrelation von interferometrischen und streuenden Analysen, um leistungsfähige Visualisierungen der Topographie eines Wafers zu erzeugen. Diese Ausrüstung kann dann verwendet werden, um den Ertrag zu optimieren, die Gleichmäßigkeit zu verbessern und die Herstellungskosten zu senken. KLA 4000 SURFSCAN ist ein leistungsfähiges System für Wafertests und Messtechnik. Die Kombination aus einem hochwertigen optischen Mikroskop, einer hochpräzisen C-Achsen-Stufe, interferometrischen Profilen, einem Rastertunnelmikroskop und einem optischen Streugerät liefert die Informationen, die benötigt werden, um ein detailliertes Verständnis der Topographie des Wafers zu erlangen. Diese Einheit ist in der Lage, detaillierte Höhenkarten und 3D-Bilder von Oberflächenmerkmalen bereitzustellen, Oberflächenrauhigkeiten und Texturen zu erkennen und leistungsstarke Visualisierungen zu erzeugen, um den Ertrag zu optimieren und die Herstellungskosten zu senken.
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