Gebraucht KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9157364 zu verkaufen

KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN ist eine moderne Wafer-Prüf- und Messtechnik der nächsten Generation. Es wurde entwickelt, um eine schnelle, präzise und automatisierte Inspektion von strukturierten Wafern zu ermöglichen, die Prozessüberwachung, Fehlermanagement und verbesserte Erträge ermöglichen. Das System besteht aus einem leichten optischen Mikroskopie-Teilsystem, einem akustischen bildgebenden Teilsystem und einem bildverarbeitenden Teilsystem. Das optische Subsystem des Surfscan nutzt erweiterte bildgebende Funktionen, um eine hochauflösende Fehlerinspektion und dimensionale/morphologische Messungen in mehreren Vergrößerungen zu ermöglichen. Dieses Gerät nutzt sowohl Dunkelfeld- als auch Hellfeldmikroskopie-Eigenschaften sowie optionale UV-Beleuchtung, um eine breite Palette von Wafer-Inspektionsanwendungen zu ermöglichen. Es ist in der Lage, Fehler auf Submikron-Ebene auf gemusterten Wafern mit Präzision und Genauigkeit zu erkennen und abzubilden. Das akustische bildgebende Subsystem von KLA 4000 SURFSCAN nutzt die laserakustische Mikroskopie, um zerstörungsfreie Fokuseigenschaften in einer Vielzahl von Wafergrößen und -dicken zu liefern. Diese Funktion eignet sich besonders zur Erkennung von Defekten in Ultra-Low-K-Dielektrika und zur Inspektion vergrabener Schichten tief in Wafern. Das akustische bildgebende Teilsystem ist in der Lage, Merkmalsgrößen im Bereich von 300 nm bis 10 Mikrometer zu erkennen, mit einer hohen Unterscheidung zwischen ähnlichen Merkmalen und einer Vielzahl von Fehlertypen. Das Bildverarbeitungs- und Analyse-Subsystem des Surfscan verwendet fortschrittliche Algorithmen, um eine automatisierte Bildsegmentierung, Mustererkennung und Bildklassifizierung durchzuführen. Es hat auch die Fähigkeit, Änderungen innerhalb definierter Prozesse zu erkennen, Muster zu identifizieren und eine breite Palette von Wafereigenschaften und Defekten zu charakterisieren. Die Bildverarbeitungs- und Analysemaschine soll einen detaillierten Überblick über die Wafereigenschaften sowohl bei der Erstinspektion als auch bei der Waferlaufzeitüberwachung geben. Dies ermöglicht eine schnelle Fehlerbehebung und ermöglicht eine schnelle Produktakzeptanz. TENCOR 4000 SURFSCAN bietet eine effiziente, kostengünstige Lösung für Wafertests und Messtechnik. Die Kombination aus fortschrittlichen bildgebenden Fähigkeiten, akustischer Bildgebung und Bildverarbeitungs- und Analysefähigkeiten ermöglicht die Erkennung und Charakterisierung verschiedener Fehler mit hoher Präzision und Genauigkeit. Dieses Tool ist ideal für Wafer-Tests, Prozessüberwachung und Fehlermanagement, so dass Hersteller die Erträge verbessern und gleichzeitig die Kosten senken können.