Gebraucht KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9248058 zu verkaufen

KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN ist eine umfassende Wafer-Prüf- und Messtechnik für die Prozesssteuerung in der Mikroelektronik. Das System basiert auf vierzelligen optischen und interferometrischen Bildgebungsprinzipien, die eine hochpräzise Oberflächenbildgebung und Messtechnik von kleinen Merkmalen für Analyse und Kontrolle ermöglichen. Die optische Plattform des Geräts erhält mehrere Bilder des Wafers durch eine Vielzahl von Mikroskopobjektiven und Laserstrahlen, die eine 3D-Messtechnik und automatisierte Fehlererkennung ermöglichen. Durch die Verwendung von Hellfeld, Dunkelfeld, Streuung und Gesamtlaserintensitätsmikroskopie kann KLA 4000 SURFSCAN Defekte und Anomalien auf der Ebene der einzelnen Atome erkennen. Es hat auch die Fähigkeit, Parameter wie Foliendicke und kritische Abmessungen in verschiedenen Tiefen für die Prozesssteuerung zu messen und aufzuzeichnen. Die Maschine charakterisiert, klassifiziert und misst automatisch Defekte über den gesamten Wafer mit Nanometer-Pegelauflösung. Der hohe Durchsatz ermöglicht eine schnelle und effiziente Diagnose von Wafern, sodass Hersteller prozessbedingte Defekte und Anomalien schnell erkennen, analysieren und beheben können. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine Vielzahl von Datenanalyse-Softwarepaketen, einschließlich einer Reihe von erweiterten Report-Writing-Anwendungen für die schnelle Erstellung detaillierter, umfassender Berichte. TENCOR 4000 SURFSCAN bietet eine Reihe automatisierter und manueller Wafer-Test- und Analysefunktionen. Die fortschrittliche Automatisierung und automatisierte Handhabung ermöglicht automatisiertes Laden, Entladen und Positionieren von Wafern. Das Modell nutzt auch eine breite Palette von Hardware-Fähigkeiten, wie seine Dual-Laser-bildgebende Ausrüstung, 6-Achsen-motorisierte Stufen, und automatische Wafer-Swap-out, für präzise Wafer-Handhabung und Positionierung. Die integrierte Bewegungssteuerung ermöglicht Wafer-Scanning und Step-and-Repeat-Operationen zur präzisen Wafer-Orientierung auf anderen Messtechnik oder Inspektionssystemen. 4000 SURFSCAN ist entworfen, um eine breite Palette von Oberflächenparametern für die Prozesssteuerung zu messen und zu steuern. Seine fortschrittliche und proprietäre Wafer-basierte Bildgebungsfunktion ermöglicht die Oberflächeninspektion von antireflektierenden Beschichtungen, chemisch-mechanischen Polituren, Polygonformen, Ebenheits- und Krümmungsparametern, Lithographie-Registrierungsgenauigkeit und anderen großflächigen Messungen. Das Gerät verfügt über eine breite Palette von Einstellungen zur Fehlererkennung, einschließlich automatischer Suche, Berichterstattung, Scanbereich, kritischer Dimension und Fehlergröße, um eine umfassende Fehleranalyse zu ermöglichen. Die Maschine entspricht den globalen Industriestandards und verfügt über eine Reihe optionaler Funktionen, darunter Software-Makros und Bildanalysesoftware. Es hat eine ausgezeichnete Vibrationsfestigkeit und ist für den Betrieb in Reinräumen mit ISO 5-Klassifikationen konzipiert. Das Werkzeug ist auf maximale Genauigkeit und Zuverlässigkeit ausgelegt und eignet sich daher für den Einsatz in hochpräzisen Produktionslinien.