Gebraucht KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #293822877 zu verkaufen
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ID: 293822877
Wafergröße: 2"-6"
Weinlese: 1988
Wafer inspection system, 2"-6"
1988 vintage.
KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN ist eine High-End-Wafer-Prüf- und Messtechnik, die automatisierte und umfassende Datenmess- und Analysefunktionen bietet. Es bietet unübertroffene Leistung und Genauigkeit in der Prozesskontrolle, Überwachung und Sondenkorrekturen. KLA 4500 SURFSCAN liefert hochgenaue messtechnische Ergebnisse in einer breiten Palette von Wafer-Prozess und Materialien mit voller Automatisierung, so dass die Produktion Bodentests schneller und zuverlässiger zu sein. Es verfügt über eine integrierte Vier-Achsen-Stufe, die Submikron-Genauigkeit und einen beispiellosen Durchsatz bietet und eine automatische Inspektion des gesamten Wafers oder des gesamten Retikels oder Stempels ermöglicht. Das System verwendet die neueste Algorithmus-Technologie und -Software, um schnell zwischen prozessspezifischen Tests zu wechseln und gleichzeitig mehrere Testparameter zu messen. Das Gerät bietet auch erweiterte messtechnische Fähigkeiten, einschließlich Dickenprofilierung, Defektdimensionierung, eingebetteten Widerstand und Belastungstests. Sein Design sorgt für eine optimale Prozesssteuerung, indem es automatisierte Rückmeldungen von automatisierten Testergebnissen zum Prozess ermöglicht. Dies hilft, Schwankungen der Prozessergebnisse zu minimieren, was zu höherer Ausbeute und verbesserter Produktqualität führt. Darüber hinaus ist die TENCOR 4500 SURFSCAN Maschine hochgradig konfigurierbar und erfüllt mehrere Prozessanforderungen. Der modulare Aufbau umfasst eine Reihe von Optionen, darunter verschiedene Durchmesser von Wafern, Retikeln oder Werkzeugen, optimierte Belichtungstechniken und Multilithographiesysteme. Das Tool verfügt auch über eine integrierte Verwaltungskonsole, die es den Operatoren ermöglicht, Testsequenzen zu definieren und zu verwalten, die Geräteleistung zu überwachen und Testparameter anzupassen. Es bietet auch eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche, die eine einfache Einrichtung und Bedienung des Elements ermöglicht. Insgesamt ist 4500 SURFSCAN ein branchenführendes Wafer-Test- und Metrologiemodell, das modernste Möglichkeiten und Skalierbarkeit für eine optimale Prozesssteuerung bietet. Sein schlankes Design, seine erweiterten Messfähigkeiten und seine Flexibilität machen es zu einer idealen Wahl für Wafer-Fertigungsanwendungen.
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