Gebraucht KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #9167686 zu verkaufen

KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN ist eine robuste Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für eine Vielzahl fortschrittlicher Halbleiterprozessanwendungen. Das leistungsstarke Tool bietet eine Hochgeschwindigkeitsanalyse der Wafer-Topographie und Fehlererkennung für eine verbesserte Chip-Leistung. Dieses automatisierte System nutzt fortschrittliche Analysen und Bildgebung, um Oberflächenmerkmale wie kleine parametrische Defekte, Partikelverunreinigungen und Rauheit schnell zu identifizieren und zu charakterisieren. KLA 4500 SURFSCAN ist mit mehreren spezialisierten stationären Optiken ausgestattet, die eine gleichzeitige Prüfung von bis zu vier Prüfmustern durchführen können. Es verfügt über eine optische Baugruppe mit hohem Dynamikbereich, die eine Tiefenauflösung von bis zu 25 nm bietet, und ein weites Sichtfeld, das eine schnelle und genaue Analyse ermöglicht. Diese Prüfeinheit eignet sich ideal zur Messung elektrischer, optischer und mechanischer Eigenschaften von Wafern für verbesserte Zuverlässigkeit und Leistung. Der Surfscan 4500 verfügt über eine automatische Gehäusesteuerung; eine vollständig automatisierte Kantenerfassungsmaschine; mehrere Einfallswinkel einschließlich Doppellicht- und Phasenschiebebeleuchtung; schnelllaufende, hochauflösende Bildaufbereitung; automatisierte Fehlergröße; und automatische Fehlerklassifizierung. Dieses Softwarepaket enthält auch eine umfangreiche Analysebibliothek, die CD-SEM, WFE-OV, XT, CD-TOPO, AF-MAP, OV-WFE und X-TEEM umfasst, um sowohl Oberflächen- als auch Unterflächenfehler zu erkennen und zu charakterisieren. Um Defekte zu bestätigen, kann der Surfscan 4500 an eine Vielzahl von sekundären Testsystemen angeschlossen werden, darunter Rasterelektronenmikroskope, Atomkraftmikroskope oder automatisierte optische Inspektionssysteme. Die Software des 4500 ist auch entworfen, um Daten zu melden, die in der Trendanalyse für erweiterte Prozesskontrolle verwendet werden können. Die vom Tool erzeugten Daten können auch mit historischen Daten aus früheren Analyseläufen verknüpft werden, um verschiedene Änderungen in Prozessparametern leicht zu überwachen. Der Surfscan 4500 ist eine zuverlässige und langlebige Anlage, die mit modularem Aufbau für einfache Wartung und I/O-Verbindung gebaut wird. Mit seinen fortschrittlichen Analysetechnologien und automatisierten Testfunktionen ist dieses effiziente Modell ein wesentliches Werkzeug für automatisierte Wafertests und Messtechnik.