Gebraucht KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #9252530 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9252530
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1992
Wafer inspection system, 6"
Circuit board currently nonfunctional
Damaged parts
1992 vintage.
KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN ist ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das in der Halbleiterindustrie zur Kalibrierung und Prüfung von Wafern verwendet wird. Das Gerät bietet beispiellose Genauigkeit und Präzision für die Messung und Analyse der fortschrittlichen Knotentechnologie. Es verfügt über Hochgeschwindigkeits-Scanning für kontinuierliche Messungen und verwendet fortschrittliche bildgebende Technologie, um Fehler genau zu erkennen und zu charakterisieren. Die Maschine kann Wafertopographie und Profilmerkmale, einschließlich unterschiedlicher Topologien, Konturen und Mikrostrukturen, erkennen und genau messen. Das Werkzeug ist für hohe Durchsatzleistung ausgelegt. Es unterstützt die simultane Multi-Wafer-Analyse mit topographischen Messungen, die je nach Wafergröße bei 1-3 Sekunden pro Punkt erfasst werden. Auch hochauflösende Bilder werden bei bis zu 100 μ m aufgenommen. Bordeigene digitale Sehhilfen bei der Erkennung kleiner Partikel und anderer Defekte. Das Asset bietet Anwendern umfassende Testoptionen und unterstützt Wafer-Planaritätsvalidierung, Dickenmessung und Oberflächenrauhigkeitstests. Der große Dynamikbereich ermöglicht Messungen über eine breite Palette von Wafergrößen - von 200 mm bis 300 mm. Das Modell wurde speziell entwickelt, um erweiterte Knotenstrukturen wie wiederholte Strukturen über Sub-Mikron-Längen und dünne, mehrschichtige Strukturen genau zu messen. Zu den weiteren Funktionen gehören robuste Software-Tools für die Bildanalyse, die eine einfache Erkennung und Analyse kritischer Fehler ermöglichen. Die automatisierten Algorithmen und Sichttechnologien der Geräte ermöglichen eine verbesserte Geschwindigkeit und Genauigkeit am Fehlerort. Das System verfügt über erweiterte Fähigkeiten zur Bestimmung und Klassifizierung von Kontaminationen, Defekten, Mustererkennung und anderen Materialausfällen. KLA 4500 SURFSCAN ist ein leistungsstarkes Werkzeug für die Halbleiterindustrie. Es bietet beispiellose Genauigkeit und Präzision für die Messung und Analyse der fortschrittlichen Knotentechnologie und ermöglicht eine verbesserte Ausbeute und Prozesskontrolle. Es bietet eine Reihe von Testoptionen und verfügt über große Dynamikbereiche und eine hohe Durchsatzleistung für mehr Effizienz in der Produktionsumgebung.
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