Gebraucht KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #9355439 zu verkaufen

KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik, die zur genauen Messung der Topographie von Wafern verwendet wird. Das System führt dreidimensionale Messungen der optischen kritischen Dimension (CD) durch und bietet die Möglichkeit, die Prozessvariationen von Halbleiterbauelementen zu überwachen. KLA 4500 SURFSCAN verwendet die patentierte Fourier Transform Profilometry (FTP) -Technologie, die ein Interferometer verwendet, das auf einem relativ kostengünstigen kommerziellen dielektrischen Spiegel basiert, um die topographischen Merkmale einer Waferoberfläche zu messen. Diese Einheit ermöglicht dann präzise CD-Messungen der Merkmale und deren Unterschiede zwischen Beginn und Ende eines Prozesslaufs. TENCOR 4500 SURFSCAN ist mit einer Vielzahl von Geräten und Werkzeugen wie einer motorisierten XY-Bühne für die Handhabung und Übersetzung von Wafern ausgestattet; eine motorisierte Z-Stufe zur Bewegungssteuerung der Interferometer-Objektivlinse „Expansion“ (im Fokus); eine einheitliche microscope/ir Leuchtstoffmusteranerkennungsweise für die Oblatenanordnung und Registrierung; eine Stromversorgung für den Interferometerstrahlteiler; und eine Probensonde für minimale Kontaktabtast- und Abtastfunktionalität. 4500 SURFSCAN bietet Anwendern auch eine Vielzahl von Analyse- und Visualisierungsfunktionen. Erstens ist es in der Lage, detaillierte Informationen einschließlich CD-Messungen in mehreren Formaten bereitzustellen. Dies ist auf seine Echtzeit-Bildverarbeitungsfunktionen zurückzuführen, die Änderungen in den Prozessbedingungen schnell erkennen können. Darüber hinaus ist es in der Lage, Informationen über Änderungen in spektralen Bildern sowie Verschiebungen der Musterintensitäten bereitzustellen. Zweitens ermöglicht die Maschine Benutzern, Daten zu filtern, um sich auf spezifische Trends und Schwankungen zu konzentrieren. Schließlich ist KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN mit seinen automatisierten CD-Messfunktionen in der Lage, CD-Messungen schneller und genauer zu liefern als je zuvor, sodass Benutzer Prozessprobleme schnell erkennen können. Insgesamt ist KLA 4500 SURFSCAN ein leistungsfähiges und effizientes Werkzeug zur schnellen und genauen Messung der Topographie eines Wafers zur Halbleiterbauelement-Prozessüberwachung. Sein vielseitiges und fortschrittliches Design ermöglicht es Benutzern, Änderungen in den Prozessbedingungen genau zu erkennen, den Waferertrag zu verbessern, Prozessschrott zu reduzieren und letztlich die Rentabilität zu erhöhen.