Gebraucht KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #9363455 zu verkaufen
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ID: 9363455
Wafer inspection system
Surface contamination: 2"-6"
Detects particles: 0.2µm
Automated cassette to cassette
Haze measurement and seven level haze map
Un-patterned wafers
Repeatability: 1% at Standard deviation
Resolution: 0.2µm
Substrate material: Opaque, polished surface that scatters < 5% incident light
Substrate thickness: 0.3 - 0.75 mm
Substrate size, 3"-6"
Throughput: 150 mm diameter for 30 seconds per load.
KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN ist ein fortschrittliches Wafertest- und Messtechnikwerkzeug, das für die Inspektion und Charakterisierung von Wafern auf Produktionsebene entwickelt wurde. Mit seinen patentierten Technologien kann KLA 4500 SURFSCAN bis zu 5-Zoll-Wafermessungen bei hohem Durchsatz durchführen. Es ist starr und flexibel genug, um sich an die Kundenbedürfnisse anzupassen und dennoch schnelle, genaue und zuverlässige Ergebnisse zu liefern. TENCOR 4500 SURFSCAN bietet eine umfassende Palette automatisierter Wafertests und messtechnischer Funktionen. Seine erweiterten Test- und Analysemöglichkeiten umfassen defektdefinierende Mittel wie Topographie, Filmdicke, Textur, Zusammensetzung, Spannung, Kristallorientierung und andere Halbleitereigenschaften. Das System bietet auch eine automatisierte Merkmalserkennung, die eine schnelle Erkennung und Analyse anomaler Merkmale auf der Waferoberfläche ermöglicht. 4500 SURFSCAN verwendet hochentwickelte Bildgebungstechnologien, um sowohl Konstant- als auch Konstantkraftbilder mit bis zu 5 Picometer Auflösung zu erfassen. Mit seinen leistungsstarken Bildverarbeitungsalgorithmen kann das System sogar Merkmale auf Submikronebene über die gesamte Waferoberfläche erkennen. Dies ermöglicht die Wafer-Messtechnik auf allen Stufen des Prozesses, um sicherzustellen, dass alle Schritte des Prozesses genau überwacht und getestet werden. Darüber hinaus ist KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN mit einem leistungsstarken Softwarepaket ausgestattet, mit dem Bediener Messergebnisse analysieren können. Es bietet eine breite Palette von Visualisierungs-, Datenverarbeitungs- und statistischen Analysefunktionen, die für eine schnelle und genaue Waferinspektion und Charakterisierung unerlässlich sind. KLA 4500 SURFSCAN unterstützt Halbleiterhersteller bei der Suche nach fehlerfreien Produktionsprozessen. Als eines der führenden Metrologie-Werkzeuge auf dem Markt garantiert es Zuverlässigkeit und Genauigkeit bei gleichzeitiger Einhaltung der Kosteneinschränkungen des Kunden. Das System bietet eine hervorragende Mischung aus automatisierten Wafer-Messtechnik-Fähigkeiten und Kosteneffizienz, so dass es die ideale Wahl für Wafer-Tests und Charakterisierung auf Produktionsebene ist.
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