Gebraucht KLA / TENCOR 4500 #293630338 zu verkaufen
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KLA/TENCOR 4500 ist eine hochpräzise Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Verwaltung fortschrittlicher Qualitätskontrolle und Prozessüberwachung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Dieses System nutzt Genauigkeit, Vielseitigkeit und Geschwindigkeit, um effiziente, zuverlässige und wiederholbare Analysen von Waferdefekten, parametrischer Leistung und Prozessgleichförmigkeit zu erstellen. Die KLA 4500 besteht aus mehreren Komponenten, darunter einer Sondenstation, einem optischen Kopf, einer Qualitätssicherungslösung und einer Messstation. TENCOR 4500 Sondenstation dient zum Zugriff, Messen und Abtasten einzelner Geräte auf dem Wafer während eines Scans. Es besteht aus einer XY- oder „Directional“ -Stufe und einem Z-Achsen-Sondenverschiebemechanismus, der eine präzise Positionierung und genaue Messungen ermöglicht. Die Verbindung zwischen der Sondenstation und anderen Komponenten erfolgt über eine flexible Kabeleinheit, während ein Roboterarm zur Manipulation von Wafer- und Gesenkpositionen verwendet wird. Der optische Kopf ist eine Schlüsselkomponente in der Funktionalität von 4500. Es ist mit einer Vielzahl von Mikroskopobjektiven ausgestattet, die eine Vergrößerung von geätzten Geräten, bestimmten interessanten Regionen und dem gesamten Wafer ermöglichen. Hochpräzise optische Inspektionen führen zu erhöhter Fehlererkennung, Breitenmessungen mit 35 μ m Genauigkeit und mehr. Die Bildgebung ist mit hochauflösenden, voll funktionsfähigen und HD-Kameras abgeschlossen und bietet Benutzern eine beeindruckende Auswahl an Optionen. Die Qualitätssicherungslösung KLA/TENCOR 4500 ermöglicht automatische Fehlererkennung, Fehlerklassifizierung, Waferbildanalyse und den Einsatz von Algorithmen zur Verarbeitung gesammelter Daten. Die Messstation dient zur Nachbearbeitung gescannter Daten und ist in der Lage, Bilder zu speichern, statistische Analysen bereitzustellen und Leistungstrends zu verfolgen. Diese Maschine taktet mit einem Durchsatz von 175 Wafern pro Stunde ein, was minimale Stillstandszeiten und eine erhöhte Gerätequalität für Produktionslinien ermöglicht. Es ist auf Effizienz und Benutzerfreundlichkeit ausgelegt, mit Funktionen wie einer intuitiven Benutzeroberfläche, automatisierten Routineoperationen und einer Vielzahl von Anpassungsoptionen. Zusammen mit seiner Zuverlässigkeit und Qualität ist KLA 4500 das ideale Wafer-Prüf- und Messtechnikwerkzeug für die moderne Halbleiterbauelementfertigung.
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