Gebraucht KLA / TENCOR 4500 #293662761 zu verkaufen

KLA / TENCOR 4500
ID: 293662761
Wafergröße: 6"
Wafer inspection system, 6".
KLA/TENCOR 4500 ist eine hochentwickelte Wafer-Prüf- und Messtechnik, die entwickelt wurde, um elektrische, optische und physikalische Eigenschaften von Halbleiterscheiben zu messen. Das System nutzt die neue KLA Advanced Pattern Detection Unit (APD), die eine genauere und zuverlässigere Messtechnik ermöglicht. Diese Maschine ist mit einer automatisierten AFM-Stufe mit einem Wafer ausgestattet, die auch auf kleinen Strukturen Bilder höherer Auflösung liefert. Es umfasst auch Rasterelektronenmikroskopie und zeitaufgelöste Spektroskopie für chemische Analyse, die hochgenaue Ergebnisse liefert. KLA 4500 bietet eine breite Palette von Messfähigkeiten für elektrische, optische und physikalische Eigenschaften auf Waferebene, einschließlich Messung kritischer Dimensionen (CD), Linienbreite (LWR), Overlay-Messtechnik, Filmdickenmesstechnik, Spannungs- und Photolumineszenzmessungen (PL L). Alle diese Messungen werden von einem hochauflösenden eingebauten Photolackscanner unterstützt. Der Scanner kann auch zur Fehlerinspektion verwendet werden, um auch kleinste Fehler und deren Auswirkungen auf die Leistung des Wafers zu erkennen. Das Tool verfügt auch über fortschrittliche Software-Tools für Datenanalyse und Optimierung. Die Advanced Pattern Detection (APD) Software bietet eine verbesserte Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Datenanalyse und -steuerung sowie eine schnellere Wafer-Zykluszeit. TENCOR Pattern Inspector Software wird verwendet, um Fehler zu entdecken und zu charakterisieren, ihre Größe, Form und Wirkung zu messen. Die Anlage verfügt außerdem über ein Forschungsmodul, das detaillierte Untersuchungen der Eigenschaften von Materialien wie Isolatoren und Halbleitern ermöglicht. TENCOR 4500 verfügt über einen großen Arbeitsraum, so dass bis zu acht Wafer gleichzeitig geladen werden können und Wafer bis 300 mm gemessen werden können. Dieses Modell eignet sich aufgrund seiner exklusiven Kombination aus Geschwindigkeit, Genauigkeit und Wiederholbarkeit ideal für Großserien. Diese Ausrüstung wurde entwickelt, um die strengsten Sicherheits- und Umweltstandards zu erfüllen und entspricht den neuesten Industriestandards. 4500 ist ein unglaublich leistungsfähiges System, das Präzisionsmessungen, genaue Analyse und Hochgeschwindigkeitsdatenverarbeitung bietet, um Kosten zu reduzieren und die Leistung zu maximieren. Mit seinem breiten Spektrum an Fähigkeiten und fortschrittlichen Software-Tools ist es die perfekte Einheit für detaillierte Wafertests und Messtechnik.
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