Gebraucht KLA / TENCOR 5000 Surfscan #64216 zu verkaufen

KLA/TENCOR 5000 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die eine schnelle, präzise Bildanalyse ermöglicht, die eine hochauflösende Inspektion von Geräten auf bearbeiteten Wafern ermöglicht. Das bildgebende System verwendet ein modernes Design, bestehend aus einer motorisierten XY-Bühne, einer CCD-Kamera und einer empfindlichen Beleuchtung. Das Gerät erfasst Bilder mit bis zu der siebenfachen Geschwindigkeit herkömmlicher statischer Systeme und bietet extreme Empfindlichkeit für die Fehlererkennung und -charakterisierung. Das schnelle Scannen der automatisierten Stufe wird von einer innovativen motorisierten Steuerungsmaschine angetrieben und die Hochgeschwindigkeits-Bilderfassung ermöglicht eine eingehende Analyse der Wafer-Topographie. KLA 5000 Surfscan ist für messtechnische und prozessüberwachende Anwendungen optimiert und kann Messungen kritischer Strukturen, Dimensionierung und Dimensionierung von Defekten sowie bildbasierte Sortierung und Fehlerisolierung durchführen. Das Tool verfügt über hohe Empfindlichkeit und Auflösung, mit einer Auflösung von 1 Mikron pro Pixel und keine Notwendigkeit für Sub-Pixel-Auflösung. Dies ermöglicht eine hochpräzise Messung, die eine schnelle und genaue Überwachung und Reparatur von Prozessvarianten ermöglicht. Das Asset wird komplett mit einer kompletten Palette von Operatoren, Analyse- und Messwerkzeugen sowie einer Bilddatenbank und statistischen Analysefunktionen geliefert. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Gerätetopographie Daten wie Oberflächenlebensdauer und rms Rauheit zu analysieren und bietet leistungsstarke Fähigkeit, Daten in einer Vielzahl von Formaten anzuzeigen. Die intuitive und einfach zu bedienende Benutzeroberfläche macht es einfach, Inspektionsaufgaben schnell und präzise durchzuführen. TENCOR 5000 Surfscan verfügt über branchenführende Sub-Pixel-Genauigkeit und Fehlerüberschrift, was bedeutet, dass es verschiedene Muster komplexer Merkmale inspizieren kann, die eine hohe Genauigkeit erfordern, wie V-Nuten, Kontaktlöcher, dielektrische Schichten und mehr. Darüber hinaus ermöglicht die fortschrittliche programmierbare Messtechnik und Analysesoftware eine präzise Charakterisierung von Fehlern. Dies wurde speziell entwickelt, um die Ausbeute zu verbessern, die Prozessentwicklung zu beschleunigen und den Waferverlust zu reduzieren. Damit ist 5000 Surfscan das ideale Wafertest- und Metrologiemodell für Halbleiter- und Elektronikgerätehersteller.