Gebraucht KLA / TENCOR 5010 #9083811 zu verkaufen

KLA/TENCOR 5010 ist eine leistungsstarke Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die den aktuellen und zukünftigen Anforderungen der Halbleiterherstellung gerecht wird. Dieses System bietet branchenführende Präzision, Genauigkeit und Geschwindigkeit und ermöglicht eine schnelle, wiederholbare Auswertung und Analyse von Wafern. Es ist mit einer automatisierten Ladeeinheit ausgestattet, die es ermöglicht, bis zu einer Kassettengröße von 8 Zoll zu arbeiten und bis zu 50 Wafer pro Stunde zu analysieren. KLA 5010 verfügt über erweiterte Messtechnik und Wafer-Testfunktionen, einschließlich optischer und elektrischer Inspektion, sowie Fehlerklassifizierung und -analyse. Es integriert vier Hauptkomponenten: die Scanmaschine, eine automatisierte Wafer-Handhabung, ein In-line Process Control (IPC) -Modul und eine integrierte Messstation. Das Abtastwerkzeug verwendet eine optoelektronische bildgebende Komponente, die Reflexions-, Durchlicht-, Fluoreszenz- und Polarisationsinformationen erfasst. Dies wird mit einer zerstörungsfreien Messtechnik kombiniert, die in der Lage ist, mehrere Filme, einschließlich dünner, dicker und stufenförmiger Filme, in einer Vielzahl von Geometrien gleichzeitig zu analysieren. Das Wafer-Handhabungsmodell ist sowohl zur Kantenabtastung als auch zur zufälligen Abtastung in der Lage, die Verzerrung minimiert und gleichzeitig die höchste Präzision für Messungen beibehält. Es kann konfiguriert werden, um verschiedene Kassettengrößen und Wafer/Band-Typen zu handhaben, einschließlich der in Waferringen montierten, mit manuellen oder motorisierten Deckelkassetten und Ablassscheiben. Das Gerät unterstützt auch die Datenzuordnung mit der Quantum Interface Pixel Map (QIPM), die es Anwendern ermöglicht, Punkte und Defekte auf dem Wafer schnell und genau zu lokalisieren. Das IPC-Modul bietet eine effiziente Steuerung der Qualität der Wafer und eignet sich sowohl für die Front-End als auch für die Back-End-Wafer-Sortierung. Die integrierte Messstation bietet messtechnische Funktionen wie automatisierte Mittensondierung, 3-Punkt- und Spotsonden, hochpräzises Kantenscannen und weitere Analysefunktionen. TENCOR 5010 ist die ultimative Kombination aus Wafertest und Messtechnik, die einen schnellen, genauen und wiederholbaren Qualitätskontrollprozess gewährleistet. Dieses System erfüllt die heutigen Anforderungen an anspruchsvolle und effektive Wafermessverfahren.