Gebraucht KLA / TENCOR 5015 #9003106 zu verkaufen

KLA/TENCOR 5015 ist eine führende Ausrüstung für die Wafer-Prüfung und Messtechnik. Es bietet fortschrittliche Scanelektronenmikroskopie (SEM) -Bildgebungstechnologien zur Beobachtung und Messung der Parameter von Bauelementstrukturen auf Halbleiterscheiben. Dieses System ist in der Lage, extrem detaillierte Bilder der Struktur von Geräten wie Brücken- und Gatekonstruktionen mit einer Auflösung von bis zu 5 Nanometern zu erfassen. KLA 5015 wird in mehreren Konfigurationen zur Auswertung verschiedener Gerätetypen angeboten. Die Kammer kann mit zwei oder drei Anschlüssen für den Elektronenstrahl ausgebildet sein, die eine Mehrstrahlabbildung und Messtechnik für große Proben auf einmal ermöglichen. Die Einheit nutzt patentierte Bildverarbeitungsalgorithmen, um Gerätefunktionen genau zu erkennen und zu messen, was einen sehr hohen Durchsatz und eine ausgezeichnete Wiederholbarkeit bei der Durchführung von Messungen ermöglicht. TENCOR 5015 ist mit einer Hochstromstrahlquelle, automatisierter Kalibrierung, vollständiger Maschinenüberwachung und fortschrittlichen Off-Axis-Beleuchtungssystemen zur Erzeugung mehrerer Ansichten einer Probe ausgestattet. Darüber hinaus ermöglicht die rezeptgesteuerte Waferstufe in situ die Durchführung automatisierter thermischer Prüfsequenzen. 5015 ist auch mit einer statistischen Prozesssteuerungsengine und einer umfassenden Reihe von Softwarepaketen integriert, um schnelle und genaue Ergebnisse für komplexe Geräteschichten und -strukturen zu ermöglichen. Das Werkzeug umfasst vollständig integrierte Reinraumfilter, Temperatur- und Feuchtigkeitssensoren sowie andere Funktionen, um die Sauberkeit der Umwelt und die Wiederholbarkeit der Ergebnisse zu gewährleisten. Die Termperatur auf KLA/TENCOR 5015 bleibt stets in einem optimalen Bereich für genaue Bildgebung kontrolliert. Die Hochstromstrahlquelle der Anlage sorgt dafür, dass sehr dünne Linien genau abgetastet werden können. Die integrierten Probenhandhabungssysteme automatisieren das Be- und Entladen von Wafern mit präzisen Sichtsystemen und spezieller Kammerbeladung. Die automatisierte Funktionalität des Modells sorgt für minimalen Arbeitsaufwand und verbesserte Effizienz. KLA 5015 ist eine ausgezeichnete Ausrüstung bei der Arbeit mit den modernsten Technologien wie Mehrspannungs-Bildgebung, Ertragsstatistik-Analyse, automatisierte Fehlerortung und andere neue Prozesse. Darüber hinaus reduziert das umfangreiche Softwarepaket die Betriebskosten, indem komplexe bildgebende und messtechnische Aufgaben schnell und präzise ausgeführt werden können. Das System reduziert die Notwendigkeit der Überprüfung von Bildern und liefert rückverfolgbare Daten zu allen Geräteparametern. Diese Einheit ist eine ideale Wahl für die meisten Waferfertigungen.