Gebraucht KLA / TENCOR 5015XP #9105783 zu verkaufen
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ID: 9105783
Weinlese: 2000
Overlay metrology system
CD Measurement capability
Currently stored in cleanroom
2000 vintage.
KLA/TENCOR 5015XP ist eine technologisch fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um den Ertrag zu verbessern, die Zykluszeit zu reduzieren und die Kosteneinsparungen für Halbleiterhersteller zu erhöhen. Durch die Kombination von marktführender künstlicher Intelligenz und hochauflösender Luftbildgebung ist die UCK in der Lage, die Eigenschaften jedes einzelnen Chips auf den zu bearbeitenden Wafern genau zu identifizieren, zu überprüfen und zu messen. Das System ist so konzipiert, dass es die Form und Größe jedes einzelnen Chips sehr genau misst und die Chips-Oberflächen überprüft. Es ist mit einer intuitiven benutzerfreundlichen Oberfläche ausgestattet, so dass Bediener Testparameter schnell und einfach einrichten und Messparameter im Handumdrehen anpassen können. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein proprietäres Analysepaket mit der Prägung Next Generation Edge Detection (NGED), das eine Kantenerkennungsanalyse für präzise Messungen ermöglicht. Auf diese Weise können Operatoren Wafer an mehreren Punkten anstatt nur an einem einzigen Punkt analysieren, wobei jeder Chip auf einer individuellen Ebene genau analysiert wird. Die Maschine verfügt zudem über ein geräuscharmes, hochpräzises Bewegungswerkzeug mit schwingungsarmer Luftlagerung, die eine reibungslose und präzise Positionierung der zu bearbeitenden Wafer ermöglicht. Zusätzlich verwertet der Vermögenswert ein Hochleistungsdatenerfassungsmodell für die schnellere Datenerfassung, sowie Metrologierangkameras, die dazu fähig sind, mit hoher Auflösung Bilder jeder Person zu gewinnen, sterben. KLA- 5015XP ermöglicht es Operatoren, gleichzeitig eine Vielzahl von Werkzeugeigenschaften zu messen, einschließlich Kantendefinition, Formgröße, Symmetrie, Ebenheit, Kreisförmigkeit, Fläche, Umfang und kritische Dimensionen. Die Geräte sind zudem nahtlos in die Software Etch, Diffusion, Lithography und RoundRobin integriert und ermöglichen eine nahtlose Nachbearbeitung und Nachbearbeitung von Daten. Schließlich ist das System durch die Wartungsassistenz-Alarmeinheit sehr zuverlässig, die Betreiber in Echtzeit benachrichtigt, wenn eine Wartung erforderlich ist. Dies hilft, Ausfallzeiten auf ein absolutes Minimum zu reduzieren, was eine höhere Produktivität und verbesserte Kosteneinsparungen ermöglicht.
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