Gebraucht KLA / TENCOR 5100 XP #9145531 zu verkaufen
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ID: 9145531
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
Overlay measurement system, 8"
1999 vintage.
KLA/TENCOR 5100 XP ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für maximale Produktivität und Durchsatz in einer breiten Palette von Anwendungen wie Halbleiter-Wafer-Tests, Ausbeute-Analyse und erweiterte Fehler- und Kontaminationskontrolle entwickelt wurde. KLA 5100 XP beinhaltet ein automatisiertes System, das es ermöglicht, verschiedene Phasen der Wafertests zu integrieren und zu koordinieren, einschließlich Probenahme, Fehlerprofilierung, Wafer-Mapping und Messtechnik. Es bietet auch eine optionale erweiterte Messtechnik, die speziell für anspruchsvolle Halbleiteranwendungen entwickelt wurde. TENCOR 5100XP verwendet eine Reihe von Technologien, wie einen einzigartigen Up-Down-Wafer-Aligner, Laser-Interferometer und eine Wafer Inspection Imaging Machine (WIIS). Dieses Tool ist extrem vielseitig und in der Lage, detaillierte Einblicke in Fehlerlage, Größe und Typ zu geben. Das WIIS-Tool ist hochempfindlich und in der Lage, Bilder von Oberflächen- und Untergrundfehlern zu erfassen, die Erträge zu verbessern und die Produktionskosten zu senken. KLA/TENCOR 5100XP verfügt auch über eine Reihe integrierter Analysewerkzeuge, wie eine statistische Fehleranalyse, eine optische Linienrauhigkeitsmessung und eine Echtzeit-3D-Wafer-Karte. KLA 5100XP wurde entwickelt, um den Betreibern eine Reihe von Funktionen zur Verbesserung der Inspektions- und Messgenauigkeit zur Verfügung zu stellen. Es kann mit einer Vielzahl von automatisierten Wafer-Mapping- und Metrologie-Softwareoptionen konfiguriert werden, wie einem Support-Softwaremodul und der leistungsstarken QMet-Maßnahme. Das Asset verfügt auch über erweiterte Funktionen zur Fehlererkennung, -klassifizierung und -analyse. Das Modell kann mehrere Fehler an einer einzelnen Matrize erkennen und eine detaillierte Analyse jedes Fehlers bereitstellen, wodurch Hersteller den zeitaufwendigen Prozess der manuellen Fehleranalyse beseitigen können. Schließlich verfügt TENCOR 5100 XP über eine intuitive Benutzeroberfläche, mit der Benutzer schnell und einfach Testeinstellungen erstellen und die Ergebnisse problemlos anzeigen können. 5100 XP umfasst auch mehrere automatisierte Messwerkzeuge, wie eine Wafer-Sondenstation, Wafer Mover und mehrere andere motorisierte Instrumente. Alle diese Elemente arbeiten koordiniert zusammen, um maximale Genauigkeit und Durchsatz zu gewährleisten.
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