Gebraucht KLA / TENCOR 5100 #293603393 zu verkaufen
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ID: 293603393
Overlay inspection system
(2) PZT Sensors 450-451849-00
ALMB PCB 710-404368-00
Main frame
Console
Power stabilizer
Exhaust fan
LAMBDA 284BE-1A-1715 Power supply missing.
KLA/TENCOR 5100 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die eine fortschrittliche Prozess- und Gerätecharakterisierung für die Halbleiterherstellung bietet. Es ist speziell für die Wafer-Charakterisierung von Geräten der nächsten Generation im Sub-2x-Nanometer-System konzipiert. Das System nutzt fortschrittliche Bildgebungstechnologie, um niedrige Dosisstreuung über eine Reihe von Halbleiterprozessen zu quantifizieren. Dazu gehören Lichtbeugung und Transmissionsbildgebung zur Hochkontrastprüfung und eine einzigartige Autofokus-Optik zur Lokalisierung kritischer Defekte und Hotspot-Messungen. KLA 5100 bietet schnelle Scanraten und automatisierte Kalibrierung, beide wichtige Merkmale, um genaue und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Der eingebaute Autofokus sorgt dafür, dass Bilder auch dann im Fokus bleiben, wenn Wafer in verschiedenen Tiefen platziert werden, während die automatischen Ausrichtungsroutinen die bildgebende Maschine während des Betriebs richtig ausrichten. Das Tool verfügt auch über eine überlegene Ausrichtungsgenauigkeit und Wiederholbarkeit über eine breite Palette von Materialien, so dass Benutzer die Optik leicht manipulieren und sich schnell auf verschiedene Materialien einstellen können. Darüber hinaus bietet es eine Reihe von Probenahmetechniken für verschiedene Anwendungen, einschließlich Overlay und direkte Messung für fortgeschrittene Gerätecharakterisierung. Das Asset verfügt über einen hohen Durchsatz mit einer schnellen Scangeschwindigkeit, geräuscharmer Bildgebungstechnologie und integrierten Datenbank- und Analysetools, um sicherzustellen, dass Daten korrekt gespeichert und leicht zugänglich sind. Darüber hinaus verfügt es über intelligente Schnittstellenkomponenten und intuitive Tools wie eine intuitive Analysesoftware und eine robuste Fehlerdatenbank sowie eine Echtzeit-Messtechnik-Analyse. Die fortschrittliche Robotik-Funktion des Modells sorgt auch für Genauigkeit, indem es Benutzern ermöglicht, die Ausrüstung schnell an jede Position zu bewegen, wodurch der Aufwand für manuelle Bühnenbewegungen oder die Zuweisung von Funktionen gemindert wird. TENCOR 5100 ist ein unschätzbares Werkzeug für Halbleiterhersteller, die ihre Prozess- und Produktionskapazität maximieren möchten. Das System ist in der Lage, Wafer schnell und präzise zu charakterisieren und sicherzustellen, dass Wafer mit hoher Leistung auf den Markt kommen. Darüber hinaus stellen die erweiterten Funktionen des Geräts, wie Datenspeicher- und Analysetools, sicher, dass die gesammelten Daten nahtlos gespeichert und genau organisiert werden. So ist 5100 Maschine ein leistungsfähiges Werkzeug für die Halbleiterherstellung und liefert wesentliche Einblicke in die Gerätecharakterisierung für eine verbesserte Qualitätskontrolle und Prozessoptimierung.
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