Gebraucht KLA / TENCOR 5100 #293603716 zu verkaufen

KLA/TENCOR 5100 ist eine berührungslose optische Wafer-Prüf- und Messtechnik. Es bietet hohe Präzision, hohe Geschwindigkeit, genaue und umfassende Abdeckung von Geräteparametern wie kritische Abmessungen, Defekte und Überlagerungsziele. Das System ist für den Einsatz in Halbleiter-, Photonik- und MEMS-Bauelementen konzipiert. Die KLA 5100 verfügt über eine kraftgetriebene Kontaktpunktmontage mit integriertem Flachbildschirm und einer motorisierten Plattform, die es ermöglicht, sich von der Kante in die Mitte von Wafern mit einer Größe von bis zu 300 mm zu bewegen. Seine fortschrittliche optische Einheit ist in der Lage, einachsige, doppelachsige und dreiachsige Bildgebungsfunktionen sowie eine breite Palette typischer und kundenspezifischer Mess- und Analyseeigenschaften bereitzustellen. Diese Maschine ist auch mit einer Vielzahl von automatisierten Funktionen ausgestattet, um die Produktivität zu verbessern und die Genauigkeit zu optimieren. Dazu gehören automatische Fokussierung und Ausrichtung, automatische Fehlererkennung, automatische Kontrastoptimierung und Scanstrategien, automatische Overlay-Registrierung und automatische Prozessoptimierung. Die erweiterten messtechnischen Fähigkeiten von TENCOR 5100 umfassen die Bildgebung und Messung über gemusterte Wafer, Gerätekanten, Geräteecken und Find-Fail-Tests. Spezielle Techniken wie Luftlagerabtastung, Positionierung und Messung von geschlossenen Schleifenmustern und eingebettete Werkzeugprüfung sind ebenfalls verfügbar. Hochgeschwindigkeits-Scanfähigkeit ist verfügbar, um einen effizienteren Durchsatz zu bieten, während fortschrittliche Algorithmen die Waferinspektionsleistung verbessern können. 5100 ist bei der Fehlerüberprüfung und -analyse gleichermaßen geeignet. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Fehleranalyseoptionen zu unterstützen, einschließlich Änderungserkennung, Gesamtfehlerzuordnung und Klassifizierung, Fehlerclustering und Hotspot-Analyse. Insgesamt bietet KLA/TENCOR 5100 die neuesten Funktionen für hochpräzise und zuverlässige Wafertests und Messtechnik, die es Anwendern ermöglichen, ihren Ertrag zu maximieren, die Produktleistung und Zuverlässigkeit zu verbessern und Abfälle und Schrott zu reduzieren.