Gebraucht KLA / TENCOR 5100 #293619673 zu verkaufen

KLA / TENCOR 5100
ID: 293619673
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR 5100 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik der nächsten Generation, die ein umfassendes Spektrum an messtechnischen und Testanwendungen für eine Vielzahl von Wafersubstraten bietet. Das System ist mit einer 300 mm belasteten Robotik-Einheit ausgestattet, die ein schnelles und einfaches Be- und Entladen von Wafern ermöglicht. Die Maschine ist auch in der Lage, Wafergrößen von 200mm bis 300mm zu handhaben und kann sowohl Produktions- als auch F & E-Anwendungen bedienen. KLA 5100 nutzt eine fortschrittliche Werkzeugsteuerung, die einen effizienten Betrieb mit hohen Durchsätzen ermöglicht. Das Tool wurde entwickelt, um den Anforderungen der Hersteller von hochvolumigen Halbleitern gerecht zu werden und bietet ein fortschrittliches Ertragsmanagement und Optimierung. Die Anlage ist in der Lage, verschiedene physikalische, elektrische, chemische und mechanische Eigenschaften von Wafern zu testen und zu messen, einschließlich Parameter wie Krümmung, Ebenheit, Spannung und Dicke. Das Modell verwendet eine Reihe zerstörungsfreier Prüfverfahren wie Röntgenbeugung, Ellipsometrie und Mikroviskometrie. Es verwendet auch eine Reihe von anderen relativen und absoluten Tests einschließlich Atomkraftmikroskopie, Elektronenstrahlprüfung und thermische Eigenschaften Messung. TENCOR 5100 ist mit einer Live-Bildverarbeitungsausrüstung ausgestattet, die eine umfassende Testabdeckung des Wafers und erweiterte Bildverarbeitungsfunktionen bietet. Dieses System unterstützt sowohl eindimensionale als auch zweidimensionale Mustererkennung. Das Gerät verfügt auch über einen hochauflösenden Scankopf und eine Kammer, so dass der Benutzer den gleichen Bereich bis zu fünfmal höher in der Auflösung sehen kann. Die Maschine wurde entwickelt, um den Durchsatz durch automatisierte Probenpositionierung, automatisierte Probenhandhabung und automatisiertes taktiles Feedback zu verbessern. Dies ermöglicht eine schnelle Prüfung von Wafern für schnelle Wendezeiten. Das Tool ermöglicht auch Multi-Anwendungstests für erweitertes Ertragsmanagement. 5100 ist mit einer Reihe führender Softwareanwendungen ausgestattet, die Entwicklungs- und Testfunktionen für mehrere Plattformen, Anbieter und Anbieter bieten. Diese Funktion ermöglicht es Benutzern, ihr Testprogramm anzupassen und die Ergebnisse schnell zu analysieren. Es bietet auch eine nahtlose Integration von Testdaten von verschiedenen Plattformen. Alle im Asset verwendeten Softwareanwendungen sind mit bestehenden Hardware- und Client-Systemen kompatibel und gewährleisten eine schnelle und einfache Anpassung. Insgesamt ist KLA/TENCOR 5100 ein fortschrittliches Wafertest- und Metrologiemodell, das eine Reihe von Test- und Messfähigkeiten für eine Vielzahl von Wafersubstraten bietet. Es ist ein ideales Werkzeug für großvolumige Halbleiterhersteller, die Fehler schnell und genau entfernen müssen. Die Geräte ermöglichen effiziente Tests und Datenanalysen, so dass Testergebnisse schnell gemeldet werden können. Darüber hinaus ermöglichen die erweiterten Softwareanwendungen eine einfache Anpassung und Interoperabilität mit bestehenden Hardware- und Clientsystemen.
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