Gebraucht KLA / TENCOR 5100 #293630321 zu verkaufen

ID: 293630321
Overlay measurement and inspection system Spares included.
KLA/TENCOR 5100 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die entwickelt wurde, um kritische Bauelementmaße auf nackten und gemusterten Wafern für die Halbleiterproduktion, Forschung und Entwicklung zu messen. Es verwendet fortgeschrittene bildgebende Techniken, um Oberflächentopographiedaten der Probe zu erfassen, zusätzlich zu einer Reihe von spektroskopischen Techniken und Hochgeschwindigkeits-optischen Inspektion, um In-Die/On-Wafer-Ergebnisse zu erhalten. Die KLA 5100 arbeitet zerstörungsfrei, berührungslos und nutzt hochauflösende Bildgebungstechnologie, die genaue, wiederholbare Messergebnisse liefert und gleichzeitig das Material minimal belastet. Dieses System bietet echte Acht-Zoll-Apertur-Scanning, ein größeres Sichtfeld als Standard-optische Mikroskop-Technologien, die die Erfassung von mehr Daten in weniger Inspektionszyklen ermöglicht. Die hohe Geschwindigkeit der optischen Inspektion trägt zur Beschleunigung der Produktentwicklung und zur Steigerung des Produkts bei. Durch die Analyse von Wafer- und Düsenlevel-Daten bietet TENCOR 5100 eine schnelle Charakterisierung von Wafermaterialien, Merkmalen, Defekten, Testwürfeln und Gleichmäßigkeit von Düsen und Düsen. Darüber hinaus ermöglichen seine In-Die-Metrologie-Fähigkeiten eine lokalisierte Charakterisierung von Düsenstrukturen zur Bewertung der Funktionalität. Das Gerät ist mit einer patentierten Mustererkennungsmaschine zur automatisierten Extraktion und Analyse von Merkmalen ausgestattet. Diese Maschine verarbeitet Bilder von Geräten oder Polygonen und extrahiert eine Vielzahl von messtechnischen Daten, die sich auf ihre physikalische Größe, Form und Positionierung beziehen. Seine leistungsstarken Werkzeuge zur Partikelanalyse unterstützen Forschungsanstrengungen, die Erkennung von Partikeln und anderen schwer zu findenden Funktionen mit Hilfe fortgeschrittener Algorithmen zur Anomalieerkennung. 5100 kann angepasst werden, um spezifische Kundenanforderungen zu erfüllen und eine breite Palette von Beispielumgebungen und Anwendungen zu unterstützen. Die freistehende Maschine eignet sich gut für Wafer-Sortier-, Ingenieur-, Akademie- und Forschungslabors. Darüber hinaus kann es im Rahmen eines automatisierten oder manuellen Prozesses in bestehende Fertigungsprozesslinien integriert werden. Die Kombination der zerstörungsfreien, hochgeschwindigen Bildgebungs- und Datenanalysefunktionen von KLA/TENCOR 5100 sowie seine vielseitige, kompakte Bauweise machen es zu einer idealen Wahl für modernste Wafertests und Messtechnik. Das Tool liefert genaue, umsetzbare Daten, um Zykluszeiten zu reduzieren und Kosten zu senken - und ermöglicht so hochmoderne Anwendungen für die Halbleiterforschung und -produktion.
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