Gebraucht KLA / TENCOR 5100 #293630446 zu verkaufen

ID: 293630446
Overlay measurement and inspection system Spares included.
KLA/TENCOR 5100 ist ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das für die Inspektion und Messtechnik von Wafern mit hohem Durchsatz entwickelt wurde. Sein überlegenes Design und seine Funktionen ermöglichen eine schnellere, genauere Datenerfassung und -analyse bei gleichzeitiger Reduzierung von Zykluszeiten, Durchsatz und Kosten. KLA 5100 nutzt fortschrittliche Sicht-, Automatisierungs- und Sensortechnologien, um Waferoberflächen schnell zu überprüfen und zu analysieren. Es verwendet verschiedene bildgebende Techniken, einschließlich lasergestütztes Scannen, Polarisationskontrastmikroskopie, 3D-optische Bildgebung und spektrale Reflexionsbildgebung, um Wafereigenschaften und Defekte zu messen. TENCOR 5100 bietet eine vollständige Palette von High-Speed-Wafer-Handhabungsoptionen, einschließlich automatischer Wafer-Lader, Entlader, Orienter und Sortierer. Das System unterstützt bis zu 8 zweckspezifische Tools und verfügt über erweiterte digitale Kreuzkorrelationsfunktionen für eine schnelle und genaue Array-Analyse. 5100 bietet schnelle, genaue messtechnische Messungen, einschließlich Partikelzahl, Oberflächenladung, Oberflächenrauheit, Nanoeindrückung, Wafer-Mapping und Oberflächenbindungstests. Es wurde entwickelt, um kritische Fehler und Schlupfe mit hoher Wiederholbarkeit schnell zu erkennen und zu klassifizieren. Die Flexibilität des Systems ermöglicht eine Vielzahl von benutzerdefinierbaren Operationen, wie zum Beispiel das Anpassen, Analysieren, Sortieren und Durchführen von On-Wafer-Tests. Die einzigartigen Funktionen von KLA/TENCOR 5100 umfassen automatische Prozesssteuerung, erweiterte Analyse, Datenerfassung, Wafer-Tracking und Prozessidentifizierung. Es liefert qualitative und quantitative Daten für die Prozessentwicklung, Charakterisierung und Produktion. Die KLA 5100 bietet eine umfassende Palette von Datenanalysetools zur schnellen und genauen Korrelation von Fehlerstellen auf Wafern. TENCOR 5100 ist ein unschätzbares Werkzeug in der Halbleiterindustrie. Die fortschrittliche Technologie und die benutzerfreundliche Oberfläche machen es zu einer zuverlässigen, kostengünstigen Lösung für die Inspektion und Messtechnik von Wafern mit hohem Durchsatz. Es liefert schnelle, genaue Ergebnisse und einen hohen Durchsatz und Flexibilität bei gleichzeitiger Reduzierung der Zykluszeiten.
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