Gebraucht KLA / TENCOR 5100 #293664945 zu verkaufen

KLA/TENCOR 5100 ist eine fortschrittliche Wafertest- und Messtechnik-Ausrüstung, die in der Elektronikindustrie eingesetzt wird. Es ermöglicht Präzisionswaferinspektion und Messtechnik mit zuverlässigen und wiederholbaren Ergebnissen. Dieses System besteht aus einer leistungsstarken hochauflösenden Mikroskopie-Stufe und mehreren physikalischen Eigenschaftsauswertungstools, die mit Software zur automatisierten und intelligenten Datenanalyse integriert sind. KLA 5100 Einheit zeigt eine automatisierte Oblatenberührenmaschine und ein vertikales Feld, Elektronmikroskopbildaufbereitungswerkzeug scannend. Der automatisierte Wafer-Handler sorgt für präzise und wiederholbare Wafer-Positionierung und -Orientierung mit Mikrometer-Präzision. Dieses Rasterelektronenmikroskop-Bildmaterial bietet eine überlegene Auflösung, hohe Wiederholbarkeit und ein weites Sichtfeld für eine genaue Messtechnik von Wafern. Die Werkzeuge zur Bewertung physikalischer Eigenschaften des TENCOR 5100-Modells umfassen Laserprofilometrie, statische und dynamische Bildgebung, Fehlerüberwachung und Fokus auf flache Messungen. Die Laserprofilometrietechnologie, eine Scantechnologie für die 3D-Profilierung und Messung von Materialoberflächen, bietet die höchste Tiefenauflösung für Topographie, Dicke, Rauheit, Höhe und Partikelgrößenanalyse. Die statischen und dynamischen Bildgebungstechnologien bieten zusätzliche Bildanalysefunktionen für die Mustererkennung, Fehlerklassifizierung und mehrschichtige Waferüberwachung, um den Ertrag zu verbessern und Ausfälle zu reduzieren. Die Fehlerüberwachungsfunktion führt auch eine schnelle und genaue Fehlercharakterisierung durch, indem gezielte Bildgebung zur Identifizierung und Sortierung von Fehlermerkmalen wie Zeilenausstoßungen und Widerstandsverschiebungen verwendet wird. Der Fokus auf Flachmessungen ermöglicht präzise Dicken- oder Ebenheitsmessungen eines Wafers zur Fertigungsqualitätskontrolle. Die einstellbaren Fokuseinschlüsse bieten eine spezielle Messung von Merkmalsgrößen und -formen. Es verfügt auch über ein Speicher-Management-Gerät, das die von den bildgebenden und messtechnischen Komponenten gesammelten Daten speichert. Die in 5100 integrierte fortschrittliche Software bietet automatisierte Algorithmen, die Bilder und Eigenschaften mit höherer Geschwindigkeit und Genauigkeit analysieren können als manuelle Inspektionen. Es bietet auch eine intuitive Benutzeroberfläche, die für Wafermessanwendungen optimiert ist, mit leistungsstarken Echtzeit-Analysefunktionen und Datenvisualisierungstools. Diese integrierte Software-Suite ist für eine effiziente Datenanalyse, halbautomatische Optimierung von Prozessparametern und rezeptbasierte Optimierung von Prozessrezepten konzipiert. Zusammenfassend ist KLA/TENCOR 5100 eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Einheit, die Präzisions-Wafer-Inspektion und Messtechnik mit zuverlässigen und wiederholbaren Ergebnissen bietet. Mit seiner leistungsstarken hochauflösenden Mikroskopie, mehreren Tools zur Bewertung physikalischer Eigenschaften und einer integrierten Software-Suite bietet es erweiterte Funktionen für eine schnelle und genaue Fehlercharakterisierung, Topographieauswertung, Qualitätskontrolle der Produktion und Rezeptoptimierung.