Gebraucht KLA / TENCOR 5100 #9043939 zu verkaufen

KLA/TENCOR 5100 ist eine High-End-Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für Prozesssteuerung und Datenanalyse auf Produktionsebene. Es kombiniert die Eigenschaften verschiedener bestehender Testgeräte, um ein integriertes System zu schaffen, das eine bemerkenswert genaue, schnelle und zuverlässige Prüfung ermöglicht. KLA 5100 basiert auf einem Quad-Beam-Tool, das Wafer-Features mit vier Laser-Encodern misst, um eine ultrapräzise Merkmalsmessung in einem einzigen Scan zu ermöglichen. Eine Reihe von verschiedenen Arten von Encoder-Verarbeitungssystemen können installiert werden, wodurch außergewöhnliche Flexibilität und Messgenauigkeiten für elektrische und optische Messungen geschaffen werden. Es ist mit einer fortschrittlichen Prozesskammer zum Schutz der empfindlichen Instrumentierung vor prozessbezogenen Materialien, Staub und Luftverunreinigungen aufgebaut. Dies ermöglicht auch die Integration von dotierten Wafern, Ionenimplantation und anderen Prozesswerkzeugen. TENCOR 5100 verfügt über ein extrem großes Prozessfenster, das einen wesentlich höheren Durchsatz als mit einer einzigen Strahleinheit ermöglicht. Die integrierte Bildverarbeitungsmaschine von 5100 kann verwendet werden, um Bilder des Wafers mit hoher Auflösung und schnellen Scanzeiten zu erfassen. Dies macht es sehr einfach, wichtige Merkmalseigenschaften und mögliche Prozessanomalien schnell zu identifizieren. KLA/TENCOR 5100 verfügt auch über High-End-Messtechnik-Funktionen wie fortschrittliche Ausrichtungssysteme, hohe Vergrößerungsoptik und laterale Messtechnik. Dies ermöglicht die Präzisionsmessung kleiner Merkmale, wie z.B. kritischer Dimension (CD), sowie die Auswertung elektrischer Leistungsmerkmale. Schließlich verwendet KLA 5100 komplexe Software, um die Ergebnisse der Prozess-, Test- und Messtechnik-Schritte zu sammeln und zu analysieren, um den optimalen und zuverlässigsten Prozess zu gewährleisten. Dadurch können eventuell auftretende Prozessprobleme schnell identifiziert und Korrekturmaßnahmen zur Lösung dieser Probleme ergriffen werden. TENCOR 5100 ist ein extrem leistungsfähiges Wafer-Prüf- und Messtechnik-Tool, das die Vorteile von Flexibilität, Genauigkeit, Durchsatz und Analyse auf Produktionsböden bringt. Es ist ein idealer Vorteil für die Bewertung, Verbesserung und Optimierung von Waferprozessen.