Gebraucht KLA / TENCOR 5100 #9182972 zu verkaufen

KLA/TENCOR 5100 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die eine effiziente und zuverlässige Bestimmung der Waferparameter ermöglicht. Dieses System wurde entwickelt, um eine Reihe von kritischen Dimensionen, Topographieparametern, Oberflächenrauhigkeiten und anderen kritischen Wafereigenschaften schnell zu messen und zu analysieren. Die KLA 5100 verwendet ausgeklügelte Optik- und optische Deformationserfassungstechnologie, um Daten über die Eigenschaften des Wafers genau zu erfassen. Das Gerät verfügt über eine hochauflösende CMOS-Bildaufnahmekamera, ein hochauflösendes Spektrometer, einen hochgenauen Encoder, einen hochpräzisen Schrittmotor für die Waferbewegung und eine mehrkanalige Signalverarbeitungsmaschine für genaue Messungen. Das Werkzeug ist in der Lage, das Profil des Wafers mit hoher Geschwindigkeit, Tiefe und Genauigkeit abzubilden. Es kann Änderungen in der Topographie durch Ätzen oder Ausdünnen der Oberfläche des Wafers erkennen. Die erweiterte Optik des Objekts kann die Topographie der Oberfläche messen, während die hochauflösende CMOS-Kamera die Oberfläche scannen kann, um Funktionsgrößen, -höhen und -orte zu erkennen. TENCOR 5100 ist mit einem ausgeklügelten Signalverarbeitungsmodell ausgestattet, um die Profilparameter des Wafers zu messen. Dieses Gerät verfügt über ein Mehrkanal-Signalverarbeitungssystem, das Wafereigenschaften mit Genauigkeit und Geschwindigkeit erkennen kann. Das Gerät verfügt zudem über ein Präzisions-Luftlager, das die Genauigkeit der Messdaten gewährleistet. Die von der Maschine gesammelten Daten werden zur Analyse der kritischen Eigenschaften des Wafers verwendet. Die Analyse umfasst eine vollständige Überprüfung von KE-Größe, KE-Form, KE-Oberflächenrauhigkeit, Flächenprofil, KE-Position und anderen Parametern. Diese Daten helfen Herstellern, Wafer-Probleme schnell zu diagnostizieren und den Prozess zu optimieren, um die Produktqualität zu verbessern. Insgesamt ist 5100 ein hocheffizientes und zuverlässiges Wafer-Test- und Messtechnik-Tool, das fortschrittliche Funktionen für eine schnelle Analyse und genaue Messung bietet. Es gewährleistet eine hochwertige Waferproduktion durch Bereitstellung von Echtzeitdaten über die kritischen Eigenschaften des Wafers.