Gebraucht KLA / TENCOR 5100 #9216348 zu verkaufen

ID: 9216348
Wafergröße: 8"
Inspection system, 8".
KLA/TENCOR 5100 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die einen effizienten Produktionsablauf ermöglicht. KLA 5100 Platform ist ein Vollfeld, Rückseite (berührungslos) Oberflächenprüf- und Messsystem, mit der Fähigkeit, umfassende, zuverlässige Fehlererkennung und Genauigkeit ohne die Notwendigkeit einer ständigen manuellen Bedienung zu erreichen. TENCOR 5100 verwendet fortschrittliche bildgebende Technologie und leistungsfähige bildgebende Analysesoftware, um Inspektions- und Fehlermesstechnik-Daten bereitzustellen. Das bildgebende Teilsystem ist für maximale Fehlererkennung und Genauigkeit ausgelegt. Ein schnell abtastendes Laser-Linien-Retikel, telezentrische Optik und hochauflösende Interline-Transfer-CCD bieten Vollfeldabdeckung einer Vielzahl von Wafertypen. Die gesamte 5100-Plattform kann mit optionaler Robotik vollautomatisiert werden. Der Wafer kann von einem Ladeport auf das Spannfutter von KLA/TENCOR 5100 übertragen und anschließend mit maximaler Effizienz vom Gerät inspiziert werden. Durch das ergonomische Design der KLA 5100 bleibt der Bediener bei manueller Bedienung in einer komfortablen, ergonomischen Position mit standardmäßigen ergonomischen Werkzeugen und Merkmalen nah am Inspektionsbereich positioniert. Die fortschrittliche Messtechnik-Plattform ermöglicht eine präzise Erfassung und Analyse des Waferzustandes und der kritischen Dimensionen. Die erweiterten Funktionen der KLA wie Auto-Routing, Wasserrop-Fehlerzählung, Flächenmessung und Scrolling-Front-Surface-Mapping bieten eine umfassende Analyse einer Vielzahl von Wafertypen mit zuverlässiger Genauigkeit. TENCOR 5100 verfügt auch über eine leistungsstarke Software-Schnittstelle. Es ermöglicht die Konfiguration und Steuerung aller Maschinenparameter, Datenerfassung, Bildanalyse und Berichtsgenerierung. Die umfassenden Bordfehleranalyse-Tools ermöglichen eine schnelle Fehlereinteilung von beiden Seiten des Wafers zur verbesserten Charakterisierung. 5100 eignet sich für Serienumgebungen und ist für einfache Installation, Betrieb und Wartung konzipiert. Das Tool ist auch erweiterbar und erweiterbar, so dass Benutzer es nach Bedarf anpassen können. Darüber hinaus ist KLA/TENCOR 5100 in einer Vielzahl von Konfigurationen erhältlich, um den spezifischen Anforderungen verschiedener Produkte und Branchen gerecht zu werden.
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