Gebraucht KLA / TENCOR 5100 #9236398 zu verkaufen

KLA / TENCOR 5100
ID: 9236398
Inspection system.
KLA/TENCOR 5100 ist eine Hochleistungs-Wafer-Prüf-/Messtechnik-Ausrüstung für moderne Fertigung und F & E-Anlagen. Das System ist eine rekonfigurierbare Plattform mit mehreren Test- und Messtechnikoptionen, mit denen Benutzer es an ihre Bedürfnisse anpassen können. Der Kern der KLA 5100 besteht aus einer großen Blickfeld-Digitalkamera, die Bilder der gesamten Vorder- oder Rückseite jedes Wafers aufnimmt. Diese Bilder können dann mit einer Reihe fortschrittlicher Machine-Vision-Algorithmen analysiert werden, um eine Vielzahl von Defekten wie Partikeln und Kratzern zu erkennen. Zusätzlich kann die Einheit kritische Waferprozessergebnisse wie Lithographielinienbreiten, Schichtdicken und Formgrößen messen. TENCOR 5100 bietet Anwendern einen hohen Durchsatz, genaue Ergebnisse und Benutzerfreundlichkeit. Es verfügt über einen kompakten, modularen Aufbau, der minimalen Bauraum für die Installation erfordert. Die Maschine verwendet eine Lichtquelle, um den gesamten Wafer zu hinterleuchten, wodurch Fehler erkannt werden können, die kleiner als ein Mikron sind. Es verwendet eine hochmoderne CCD-Kamera, die viermal schneller ist als die Kameras früherer Systeme. 5100 umfasst mehrere automatisierte Prozesse, einschließlich integrierter Kalibrierung, Driftkorrektur, Inspektionsrezepte, Berichterstattung, Histogrammerzeugung und Datenübertragung. KLA/TENCOR 5100 unterstützt bis zu vier Prüfaufgaben gleichzeitig, so dass mehrere verschiedene Arten von Auswertungen gleichzeitig durchgeführt werden können. Darüber hinaus ist das Werkzeug in der Lage, mehrere Substrate oder Plattengrößen gleichzeitig zu überprüfen. Mit seinen fortschrittlichen Muster-Matching-Algorithmen kann KLA 5100 verwendet werden, um Schäden wie Kratzer, Einstiche und Verunreinigungen auf Waferoberflächen effektiv zu erkennen. Darüber hinaus bietet es Fehlerklassifizierung und Kontraststeuerung für die Messung von Merkmalsparametern sowie für First- und Seitenwandinformationen. Insgesamt ist TENCOR 5100 ein branchenführendes Gerät für Wafertests/Messtechnik, das hohe Geschwindigkeit, hohe Genauigkeit, robuste und wiederholbare Ergebnisse liefert. Es bietet mehrere Inspektions- und Messtechnik-Optionen, um verschiedene Kundenbedürfnisse zu erfüllen. Mit seinem flexiblen Design können Anwender es einfach für vielfältige Produktinspektions- und messtechnische Aufgaben anpassen. Infolgedessen können 5100 ein unschätzbares Werkzeug für fortschrittliche Produktion und F & E-Anlagen sein.
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