Gebraucht KLA / TENCOR 5100 #9236713 zu verkaufen

KLA / TENCOR 5100
ID: 9236713
Wafergröße: 6"
Inspection system, 6".
KLA/TENCOR 5100 ist eine Hochleistungs-Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die den Anforderungen der Halbleiterherstellungsindustrie gerecht wird. Die fortschrittliche optische Technologie, der Hochgeschwindigkeitsbetrieb, das breite Leistungsspektrum und der automatisierte Betrieb machen es zu einer idealen Lösung für Produktions- und Forschungslabore. KLA 5100 verfügt über ein automatisiertes optisches Inspektionssystem, mit dem Wafer automatisch nach Fehlern gescannt werden können. Sein optischer Kopf kombiniert zwei Laserdioden, eine Abbildungseinheit und zwei verschiedene Substratwinkel, die eine 3D-Inspektion der Waferoberfläche ermöglichen. Diese Maschine ist in der Lage, Defekte auf der Mikronenwaage zu erkennen und kann bis zu 4 Messungen pro Sekunde durchführen. TENCOR 5100 umfasst auch erweiterte Messtechnik-Tools und Fähigkeiten. Es kann Trockenfilmniveaus von bis zu 25 Mikrometer und Profil bis zu 50 Mikrometer messen. Es kann auch Überlagerungsmessungen von bis zu +/-2 Mikrometer durchführen. Zusätzlich kann dieses Werkzeug Widerstand und Schichtdicke von bis zu 40 Nanometern messen. In Bezug auf Betrieb und Automatisierung ist 5100 mit einer integrierten Wafer-Probe-Station ausgestattet, die es ermöglicht, Wafer mit einer Genauigkeit von bis zu 1 Mikron zu steuern. Darüber hinaus ist dieses Asset in der Lage, Wafer automatisch zu laden und zu entladen, wodurch Benutzereingriffe entfallen. KLA/TENCOR 5100 kann auch ferngesteuert und programmiert werden, was eine einfachere Bedienung und effizientere Bearbeitung von Wafern ermöglicht. Dieses Modell integriert sich in die meisten branchenüblichen Verarbeitungswerkzeuge und kann mit verschiedenen Host-Computersystemen verwendet werden. Insgesamt ist KLA 5100 eine fortschrittliche und effiziente Lösung für Wafertests und messtechnische Anforderungen. Mit seinem Leistungsspektrum, Hochgeschwindigkeitsbetrieb und automatisierten Aufgaben ist dieses Gerät eine ideale Wahl für jede Halbleiterherstellungsanlage.
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