Gebraucht KLA / TENCOR 5100 #9361599 zu verkaufen

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ID: 9361599
Wafergröße: 6"
Inspection system, 6" Type: Non-SMIF GAS: DA, VAC (2) Front / Rear boards missing Power supply: 3 Phase, 200 V / Single phase, 100 V Non-functional parts: Motor Power unit cable.
KLA/TENCOR 5100 ist eine erstklassige Wafer-Prüf- und Messtechnik. Die fortschrittliche optomechanische Konstruktion ermöglicht eine flexible und präzise Positionierung und ermöglicht es, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm genau zu messen und zu inspizieren. Das System ist auf einen hohen Durchsatz mit einer maximalen Wafer-Zykluszeit von 13,2 Sekunden ausgelegt. Die Bildverarbeitungseinheit der KLA 5100 umfasst eine Digitalkamera, ein Objektiv und eine Optik zur Erfassung detaillierter Bilder zur Fehler- und Funktionsanalyse. Die Maschine verfügt über eine fortschrittliche Fehlerinspektionssoftware, um Fehler wie Partikel, Überbrückung und Hohlräume bei Auflösungen von 1 µm zu bewerten. Darüber hinaus können Benutzer Fehlerklassifizierung und Fehlerverfolgung durchführen und Ereignisse bis auf 0,1 µm visualisieren. TENCOR 5100 ist mit einem fortschrittlichen Laser-Interferometer-Messwerkzeug ausgestattet. Es verwendet einen schmalen Laserstrahl, um den gesamten Wafer bei 1kHZ zu scannen und eine Auflösung von mehr als 0,1 nm für Einzelpunktmessungen bereitzustellen. Daten können für die Overlay-Kalibrierung, 3D-Topographiemessungen und eine Vielzahl anderer messtechnischer Aufgaben wie Verformung, kritische Bemaßung und Overlay-Muster verwendet werden. 5100 Asset umfasst auch ein Substrat-Handler-Modul, das das automatische Be- und Entladen von Wafern ermöglicht. Das Modell kann erfolgreiche Lasten verfolgen und überprüft, ob alle Wafer ihr Ziel erreichen. Es bietet auch Wafer-ID-Tracking, Datenprotokollierung und -analyse und sicheren Datenbankzugriff. Mit diesen Funktionen können Anwender ihre Produktion überwachen und Qualität und Rückverfolgbarkeit gewährleisten. KLA/TENCOR 5100 verwendet eine intuitive Benutzeroberfläche für die Bedienung. Es unterstützt mehrere Sprachen (Englisch, Chinesisch, Japanisch, Koreanisch und Russisch) und erleichtert die Verwendung in einem internationalen Umfeld. Die Geräte können auch in Anwendungen und Datenbanken von Drittanbietern integriert werden, um eine flexible Anpassung und Analyse zu ermöglichen. KLA 5100 System ist ein fortschrittliches Wafer-Test- und Messtechnik-Tool. Es bietet branchenführende Auflösung und Geschwindigkeit und erleichtert gleichzeitig die Überwachung und Rückverfolgung der Waferproduktion. Dank seines flexiblen optomechanischen Designs, seiner fortschrittlichen Bildgebungs- und Laserinterferometerfunktionen, seiner automatisierten Handhabung, seiner intuitiven Benutzeroberfläche und seines sicheren Datenbankzugriffs ist es die ideale Wahl für jeden Halbleiterhersteller, der maximale Qualitätssicherung und -prüfung sucht.
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