Gebraucht KLA / TENCOR 5105 #293592897 zu verkaufen

KLA/TENCOR 5105 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für fortschrittliche Waferproduktion und Prozesskontrolle entwickelt wurde. Es basiert auf der KLA-bewährten 1D- und 2D-Inspektions- und Messtechnik und enthält ein neues optisches 300mm-Mikroskopiesystem mit Selbstkalibrierungsfähigkeiten, um den Durchsatz zu verbessern, die Genauigkeit zu erhöhen und die Produktivität zu steigern. Das Gerät bietet 2D-Geometrieausrichtungs-Messtechnik mit automatisierter Mustererkennung und einer einzigartigen Fokusarchitektur. KLA 5105 bietet verbesserte Messgenauigkeit der Linienbreite und reduzierte Messbereiche und ermöglicht eine effektive Kontrolle der Linienbreite. Darüber hinaus ist die Maschine in der Lage, Waferdefekte wie Hohlräume, Kratzer und Partikel zu erkennen und zu analysieren. TENCOR 5105 verwendet TENCOR innovative konfokale Scantechnologie, um genaue und wiederholbare Messungen zu gewährleisten und gleichzeitig die Datenerfassungszeiten und damit verbundenen Kosten zu reduzieren. Das Werkzeug ist in der Lage, 48 Messpunkte in einem vollständigen Scan durchzuführen, was zu einem höheren Durchsatz und höheren Endausbeuten führt. Die integrierten Bildverarbeitungsalgorithmen ermöglichen auch eine verbesserte Partikelanalyse. Mit seinem fortschrittlichen Low-kV-Asset ist 5105 für 200mm-Wafer optimiert und kann eine Auflösung von 100 Mikron für genaue Partikelgrößenmessungen erreichen. Dieses Merkmal erhöht die Ausbeute weiter, indem kritische Fehler schnell und effizient identifiziert werden. Mit seiner leistungsstarken Software OpticsFaber 4.2 wurde KLA/TENCOR 5105 speziell entwickelt, um sowohl eine einzige Wafer- als auch eine Vollpanel-Sequenz in kurzer Zeit zu analysieren. Das Modell ist mit einem eingebauten Echtzeit-CMP-Monitor und einer Defektklassifizierung ausgestattet, die widerstandsfähige offene Defekte präzise klassifiziert und misst. Insgesamt ist KLA 5105 eine ideale Option für Wafertests und Messtechnik und bietet verbesserte Geschwindigkeit, Genauigkeit, Durchsatz und Präzision. Es ermöglicht auch eine erhöhte Prozesskontrolle und Ausbeute Optimierung. Das System ist ein unschätzbares Werkzeug zur Überwachung und Analyse kritischer Fehler, zur Reduzierung von Zykluszeiten und zur Erzielung höherer Erträge.