Gebraucht KLA / TENCOR 5107 #154364 zu verkaufen

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ID: 154364
CD Overlay System.
KLA/TENCOR 5107 Wafer Testing and Metrology Equipment ist eine Komplettlösung für Inspektion und Messtechnik in der Halbleiterindustrie. Das System ist optimiert, um schnelle, genaue und zuverlässige Wafertests und Messtechnik für Halbleiterfertigungslinien bereitzustellen. KLA 5107 bietet eine breite Palette von Funktionen und Funktionen, wie automatisierte Wafertests, In-situ-Inspektion, Prober-Leistungstests und Profilscannen. Es kommt auch mit einer einfach zu bedienenden Schnittstelle, die schnelle und genaue Datenauslesungen und -analysen ermöglicht. Für automatisierte Wafertests verfügt TENCOR 5107 über ein umfangreiches Array von Modulen, die eine Vielzahl von Metriken messen, einschließlich optischer, elektrischer und physikalischer Eigenschaften. Das Gerät ist in einem schwingungsdämpfenden Gehäuse eingeschlossen und bietet maximale Durchsatz- und Datengenauigkeit. Für die Vor-Ort-Inspektion bietet 5107 mehrere automatisierte Funktionen. Es kann verschiedene Arten von Partikelverunreinigungen und andere Merkmale auf der Oberfläche eines Wafers in Echtzeit erkennen und ermöglicht schnelle und genaue Korrekturmaßnahmen. Zusätzlich kann die Maschine Abweichungen zwischen den elektrischen und physikalischen Eigenschaften von Wafern erkennen, was ein verbessertes Ertrags- und Fehlermanagement ermöglicht. Weitere Merkmale von KLA/TENCOR 5107 sind Proberleistungstests und Profilscannen. Prober-Leistungstests ermöglichen die Bewertung von Leistungsparametern wie Genauigkeit der Platzierung von Mustern, Überlagerungsgenauigkeit, Auflösung, Latenz, Klebehygiene und Leckrate. Profilscannen ist ein automatisierter Prozess zum Lesen der Topographie eines Wafers und zum Erzeugen einer zweidimensionalen oder dreidimensionalen Karte. Durch die Bereitstellung einer detaillierten Karte der Oberfläche des Wafers trägt dieser Prozess zur Gewährleistung der Gleichmäßigkeit der Ablagerungs- oder Entnahmeprozesse bei. KLA 5107 bringt zuverlässige, genaue und kostengünstige Wafertests und Messtechnik in die Halbleiterherstellung. Mit automatisierten Wafertests, In-situ-Inspektionen, Prober-Leistungstests und Profilscanfunktionen kann dieses Tool Zeit sparen, den Ertrag verbessern und die Produktionskosten senken.
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