Gebraucht KLA / TENCOR 5107 #9105810 zu verkaufen

KLA/TENCOR 5107 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es wurde entwickelt, um Wafer, die Halbleiter- und MEMS-Bauelemente enthalten, genau zu messen, zu untersuchen, zu charakterisieren und zu analysieren. Dieses System verwendet eine Reihe von Präzisionsoptiken, Sensoren und bildgebenden Systemen, die es ermöglichen, eine Vielzahl von Formgrößen und Anwendungsräumen zu analysieren. Hauptbestandteil der KLA 5107 ist die hochpräzise XY-Stufe, die eine genaue Sondierung und Prüfung der Matrize im Wafer ermöglicht. Die XY-Stufe ist in der Lage, die Matrize mit einer Auslaufgenauigkeit von bis zu 300mm/s zwischen den Prüfstellen zu bewegen, um sicherzustellen, dass die Messungen über einen bestimmten Prüfbereich konsistent sind. Das Gerät ist in der Lage, eine Reihe von Düsengrößen und -bereichen automatisch zu erkennen, so dass die Auswahl einzelner Düsen innerhalb des Wafers zur Prüfung möglich ist. TENCOR 5107 verfügt über eine Reihe von hochauflösenden Bildgebungssystemen, die die Identifizierung und Charakterisierung von Waferdefekten ermöglichen. Dazu gehören zwei unabhängige Zeilenkameras, die Bildauflösungen bis 10.2um bieten, sowie fünf Bereichskameras zur hochauflösenden Abbildung von Werkzeugmerkmalen. 5107 umfasst auch fortschrittliche Beleuchtungssysteme, die die Hervorhebung spezifischer Strukturen und Strukturen auf der Rückseite der Matrize ermöglichen. Für messtechnische Anwendungen ist KLA/TENCOR 5107 mit einer Reihe von 3D-Inspektionssystemen ausgestattet, die die Messung von Oberflächenhöhe und Rauheit, Dünnschicht- und Materialdicke, Spaltmessung und Stempelregistrierung ermöglichen. Diese Messungen werden alle mit hoher Genauigkeit durchgeführt, um sicherzustellen, dass die mikroskopische Struktur der Matrize in der Analyse und Prozessentwicklung genau dargestellt wird. KLA 5107 ist auch mit einer Reihe von analytischen Software-Tools ausgestattet, die die Fähigkeiten der Maschine verbessern und die weitere Analyse von Inspektionsdaten ermöglichen. Diese Tools beinhalten auch Data-Mining-Techniken, die Trendberichte über Prozessentwicklung und Ertragsanalyse generieren können. Insgesamt ist TENCOR 5107 ein leistungsfähiges Wafer-Prüf- und Messtechnikwerkzeug für die Halbleiterindustrie. Es kombiniert Präzisionsoptiken, bildgebende Systeme und Analysewerkzeuge, um die Messung und Charakterisierung der Matrize bis in die Mikroskala zu ermöglichen und die Genauigkeit von Test- und Messtechnik-Anwendungen zu gewährleisten.