Gebraucht KLA / TENCOR 5107XP #9241509 zu verkaufen
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KLA/TENCOR 5107XP Wafer Testing and Metrology Equipment ist ein fortschrittliches Qualitätskontrollwerkzeug für die Halbleiterindustrie. Das System umfasst Hardware- und Softwarekomponenten, die entwickelt wurden, um physikalische Eigenschaften von Wafern, einschließlich ihrer Größen, Formen und Oberflächenqualitäten, genau zu messen und zu analysieren. Das Gerät basiert auf hochgenauer optischer Technologie und nutzt die Vorteile anspruchsvoller Software-basierter Bildverarbeitungsalgorithmen, um genaue Messungen in einem Bruchteil der Zeit zu erfassen, die es mit manuellen Methoden benötigen würde. Die Hardware von KLA 5107XP umfasst einen erweiterten optischen Inspektionskopf, der eine hochbrillante CCD-Kamera verwendet, um Bilddaten zu erfassen. Die Maschine verfügt über eine 5-Achsen-Motorstufe, die das Scannen über die gesamte Scheibe in mehreren Richtungen ermöglicht. Die Bühne kann so programmiert sein, dass sie eine große Fläche abdeckt oder Abschnitte des Wafers genauer abtastet. Dies ermöglicht präzise Messungen von Wafergröße, Form und Oberflächenmerkmalen wie Höcker, Gruben und anderen Unregelmäßigkeiten. Die Software von TENCOR 5107XP ist so konzipiert, dass sie mit der Hardware arbeitet, um die Bilddaten zu verarbeiten. Es umfasst Bildverarbeitungsalgorithmen, die eine Vielzahl von Funktionen erkennen, identifizieren und klassifizieren können. Fortschrittliche statistische Analysealgorithmen ermöglichen es dem Tool, alle Messungen zu quantifizieren, die es nimmt, und können dann bei der Bewertung der Wafer-Qualitätskontrolle und des Prozessmanagements verwendet werden. 5107XP ist in der Lage, Tests und Messtechnik in einem hohen Durchsatz. Der Prüfkopf und die 5-Achsen-Stufe können durch ein automatisiertes Programm gesteuert werden, das ein schnelles Scannen des gesamten Wafers in Minuten und nicht in Stunden ermöglicht, wenn es manuell ausgeführt wird. Dadurch wird sichergestellt, dass jeder Wafer schnell und gründlich inspiziert wird, was die Kontrolle des Qualitäts- und Prozessmanagements während des gesamten Herstellungsprozesses ermöglicht. KLA/TENCOR 5107XP Asset gilt als unverzichtbares Werkzeug für die Halbleiterindustrie. Seine genauen Messungen mit hohem Durchsatz sorgen für eine konsistente Wafer-Qualitätskontrolle und seine ausgeklügelten Analysealgorithmen ermöglichen eine punktgenaue Bewertung der Prozessleistung auf Wafer-für-Wafer-Basis. Als solches ist das Modell ideal, um höchste Produktqualität und Zuverlässigkeit von der Waferherstellung bis zum fertigen Produkt zu erhalten.
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