Gebraucht KLA / TENCOR 5200 #293597899 zu verkaufen

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ID: 293597899
Wafergröße: 8"
Overlay measurement system, 8", parts system.
KLA/TENCOR 5200 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Es ist ein mehrdimensionales System, das in der Lage ist, eine Vielzahl von zerstörungsfreien Qualitätssicherungs- und Kontrollprüfungen an Wafern während des Herstellungsprozesses durchzuführen. KLA 5200 verwendet eine Kombination aus optischer und interferometrischer Messtechnik, um hochgenaue und wiederholbare Messungen von Halbleiterbauelementen und -materialien bereitzustellen. Es verfügt über eine automatisierte, mehrdimensionale Bildverarbeitungseinheit mit einem großen Sichtfeld und einer einstellbaren Beleuchtung, um eine präzise Ausrichtung und genaue Analyse der Wafereigenschaften zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine automatische Ausrichtungs- und Kalibrierungsfunktion, um Benutzerfehler zu reduzieren und zuverlässige Ergebnisse zu gewährleisten. TENCOR 5200 ist in der Lage, eine Vielzahl von Parametern wie kritische Grabenbreite, kritische über Durchmesser und kritischen Eckenradius zu messen. Es hat auch eine integrierte Bibliothek von Oberflächenfehlern zu erkennen, sowie ein Feature für die Mustererkennung für Nicht-Standard-KEs. Das Tool ist mit erweiterten Datenverarbeitungsfunktionen ausgestattet, so dass es Daten schnell aus mehreren Blickwinkeln analysieren und Parameter manuell anpassen kann, um Ergebnisse zu optimieren. Daten können in mehreren Formaten exportiert und über ein Netzwerk oder das Internet über die integrierte Ethernet-Verbindung übertragen werden. 5200 ist eine äußerst zuverlässige und präzise Wafer-Test- und Messtechnik, die in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden kann. Es bietet Anwendern die Möglichkeit, Wafer schnell auf Fehler zu untersuchen und zu analysieren sowie kritische Parameter zu messen, die die Geräteleistung beeinflussen. Dies macht es ideal für den Einsatz in einer Reihe von Halbleiterherstellungsumgebungen, in denen eine schnelle Diagnose und eine präzise Analyse erforderlich sind.
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