Gebraucht KLA / TENCOR 5200 #293603874 zu verkaufen

KLA/TENCOR 5200 Automated Wafer Metrology and Test Equipment ist ein vollautomatisiertes Messtechnik-und Testsystem entwickelt, um die Entwicklung und Herstellung von Halbleiterbauelementen zu beschleunigen. Es ist ideal für integrierte Schaltkreise (IC) Verpackung, IC-Herstellung und Montage und die DTW-Prüfung (Die-to-Wafer). Das Gerät bietet hohe Durchsätze, hohe Genauigkeit und zuverlässige Test- und Inspektionsmöglichkeiten für Wafer-Pegeltests, wie dielektrische Schichtdickenmessungen, Wafer-Reflektivitätsmessungen, Oberflächenrauhigkeitsmessungen, optische Inspektionen und Ausbeute. Die Maschine unterstützt auch die Bewertung einer Vielzahl von Materialien, wie Kupfer, kupferplattierte Substanzen, Dielektrika und Gläser. KLA 5200 ist ein modulares Test- und Messtechnikwerkzeug, das aus einer Reihe von Subsystemen besteht. Diese Subsysteme sind: - Wafer Load Port: Der Wafer Load Port ist der Einstiegspunkt zum Be- und Entladen von Wafern. Es verfügt über pneumatische Wafer Transfer und Handling Roboter, sowie eine aerodynamisch ausgewogene Vision Asset. - Wafer Changer Ports: Wafer Changer Ports werden verwendet, um Wafer zwischen den verschiedenen Subsystemen zu bewegen und zu speichern. - Bias Station: Die Bias Station ist eine Hochgeschwindigkeits-, Hochgenauigkeitsvorspann- und Teststation. Es wurde entworfen, um eine Vielzahl von Wafer-Level-Tests und Messungen zur Produktionssteigerung durchzuführen. - Ausrichtstation: Die Ausrichtstation dient zur Ausrichtung und Sicherung der Wafer vor dem Testen und der Messtechnik. Die Station dient auch zur Sicherung und Orientierung der Wafer vor den Test- und Messtechnik-Prozessen. - Metrologie Station: Die Metrologie Station ist das wichtigste Test- und Messtechnik-Subsystem. Es wurde entwickelt, um genaue, wiederholbare und zuverlässige Wafer-Level-Tests und Messungen bereitzustellen. - CCD-Kamera: Die CCD-Kamera wird für die Hochleistungs-Bildgebung und Inspektion von Wafern verwendet. Es eignet sich ideal zur Fehlererkennung und -klassifizierung sowie zur Feinwafermusteranalyse. - Wafer Transport: Das Wafer Transport Modell wird verwendet, um die Wafer zwischen den verschiedenen Teilsystemen zu bewegen. Es ist in der Lage, bis zu 120 Wafer gleichzeitig zu transportieren. Neben den oben genannten Subsystemen umfasst TENCOR 5200 auch eine umfassende Software-Suite zur automatisierten Steuerung und Datenerfassung. Die Software bietet eine benutzerfreundliche Oberfläche für die Waferinspektion, Überwachung und Verwaltung aller Aspekte der Ausrüstung, einschließlich Systemeinrichtung, Waferladung, Prozessparameterkonfiguration und Testergebnisse. Insgesamt bietet 5200 Wafer Test and Metrology Unit eine umfassende, hochdurchsatzreiche, hochgenaue Test- und Messtechnik-Lösung für die Entwicklung und Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ermöglicht schnelle und zuverlässige dielektrische Schichtdickenmessungen, Wafer-Reflexionsmessungen, Oberflächenrauhigkeitsmessungen, optische Inspektionen und Ausbeute Verbesserung.