Gebraucht KLA / TENCOR 5200 #293771819 zu verkaufen

ID: 293771819
Overlay measurement system.
KLA/TENCOR 5200 ist eine leistungsstarke Multi-Sensor-Messtechnik für Wafertests und Messtechnik. Dieses System bietet eine einzigartige Kombination aus fortschrittlicher Waferinspektion und Messtechnik. KLA 5200 unterstützt eine Vielzahl von Sensortechnologien und Untersystemen, einschließlich Konturscannen, 2D-Bildgebung, Farbprofilierung, Filmdickenmessungen, Waferkrümmungsmessungen und Oberflächenmapping. Diese leistungsstarke Kombination sorgt für eine hochkompetente und präzise Wafer-Inspektions- und Messtechnik-Einheit, die in der Lage ist, Fehler auf Submikron-Niveau zu erkennen und Fehlertypen zu beurteilen, um ihre Herkunft zu bestimmen. Die Maschine umfasst mehrere Softwaremodule, die die Integration automatisierter Test- und Messtechnikfunktionen ermöglichen. Dies minimiert das Risiko von Testfehlern und ermöglicht eine effiziente, durchsatzstarke Waferinspektion. Darüber hinaus bieten die Softwaremodule eine Vielzahl von anpassbaren Optionen, so dass der Bediener die Parameter einer Inspektion optimal an seine Anforderungen anpassen kann. Diese Eigenschaften ermöglichen ein hochautomatisiertes, zuverlässiges und genaues Wafer-Test- und Messtechnik-Tool. TENCOR 5200 Asset verfügt auch über hochpräzise Scan-Funktionen, so dass die Messung von kleinen Funktionen wie Speicher „Bitzellen“ und On-Die-Test-Strukturen. Das Modell ist speziell für die Inspektion von Halbleiterscheiben mit geätzten, Dünnschicht- und Dickschichtschichten konzipiert. Die Ausrüstung besteht aus mehreren Teilsystemen, die jeweils für unterschiedliche Aufgaben ausgelegt sind. Dazu gehören ein Wafer-Robotersystem, eine Wafer-Abbildungseinheit, eine Wafer-Bewegungsmaschine, ein Wafer-Oberflächenerfassungswerkzeug und ein Wafer-Analysegerät. Zusätzlich kann das Modell mit automatisierten KLA-Fehleranalysegeräten integriert werden, um eine effiziente und genaue Analyse von Fehlern in Echtzeit zu gewährleisten. 5200 ist ein leistungsfähiges Wafer-Test- und Messtechnik-System, das robuste Funktionen und eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen bietet. Das Gerät ist hochautomatisiert und zuverlässig und ermöglicht effiziente Tests und Messtechnik mit hohem Durchsatz. Es ist speziell für die Erkennung von Defekten auf Submikron-Niveau konzipiert, wodurch Hersteller in der Lage sind, Fehlertypen genau zu beurteilen und ihre Herkunft zu identifizieren. KLA/TENCOR 5200 ist mit seinen umfassenden Merkmalen und Fähigkeiten eine führende Lösung für die Prüfung und Messtechnik von Halbleiterscheiben.
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