Gebraucht KLA / TENCOR 5200 #9213909 zu verkaufen

KLA/TENCOR 5200 Wafer Testing and Metrology Equipment ist eine Komplettlösung für Prozess-, Defekt-, Analyse- und Datenmanagement. Das System wurde entwickelt, um Leistung, Zuverlässigkeit und Durchsatz zu maximieren und gleichzeitig die Erträge auf Waferebene und die Produktqualität zu verbessern. Das Gerät verfügt über ein TEMax-II Detection Module (TEMax-II DM) mit hohem Durchsatz und 512 Kanälen, um wichtige Prozessvariationen, Aberrationen und elektrische Eigenschaften über den Wafer schnell und präzise zu erkennen. Dies wird mit einer fortschrittlichen Prozessüberwachung durch das WaferfluxTM Process Control Module kombiniert, das Prozesstemperatur und Durchfluss in einem geschlossenen Kreislauf regulieren kann. Mit der fortschrittlichen Scan-and-MatchTM Software-basierten Feature-Erkennungstechnologie erkennt und quantifiziert die Maschine schnell Muster im gesamten Wafer für eine schnelle, genaue Ertragsanalyse und Prozessoptimierung. Darüber hinaus ist KLA 5200 Wafer Testing and Metrology Tool entwickelt, um beste Genauigkeit und Präzision zu bieten, bietet Präzision bis zu 1 nm Pixel-für-Pixel und Geschwindigkeit bis zu 5.000tests/Sekunde. Es kann bis zu sechs verschiedene physikalisch-elektrische Parameter pro Muster pro Matrize analysieren, wobei die Ergebnisse für den einfachen Abruf in einer Datenbank gespeichert werden. Die intuitive Benutzeroberfläche und die bedienerfreundlichen Funktionen bieten anpassbare Zugriffsstufen, einfaches Dateneingabemanagement und einfache Datenaustauschbarkeit mit anderen Systemen. TENCOR 5200 Asset verfügt über eine Vielzahl von leistungsstarken Analyse- und Fehlerrückverfolgbarkeitsfunktionen. Es bietet mehrere Signalerkennungsalgorithmen und Mustererkennungssoftware, um Fehler über den Wafer zu identifizieren und zu isolieren. Es unterstützt auch die Integration in Fehlerisolierungssysteme wie automatisierte Fehlererkennung (ADR), DLA (Die-Level Failure Analysis) und integrierte Testmesssysteme (TMMS), um eine umfassende und genaue Ertragscharakterisierung und Fehleranalyse zu ermöglichen. Am Ende ist das 5200 Wafer Testing and Metrology Model eine umfassende Lösung für die Prozessüberwachung und -analyse mit einer einfach zu bedienenden Schnittstelle, erweiterten Erkennungs- und Analysefunktionen sowie hochgenauen und durchsatzstarken Funktionen für eine schnelle, genaue Ertragsanalyse und Fehlerdiagnose. Diese Ausrüstung ist in der Halbleiterindustrie immer beliebter geworden, wo Prozessvariation und Genauigkeit von größter Bedeutung sind. Mit seinen Eigenschaften eignet es sich ideal für den Mittel- bis Hochserienbetrieb sowie für Forschung und Entwicklung.