Gebraucht KLA / TENCOR 5200 #9299363 zu verkaufen
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ID: 9299363
Overlay measurement system
(2) VS46K-EA Digital VAX station 4000 60 CPU KA4A
(2) FR-925WW-CD Digital venturis 5100
PC Included.
KLA/TENCOR 5200 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für hohe Präzision, außergewöhnliche Leistung und Genauigkeit entwickelt wurde. Die KLA 5200 konzentriert sich auf die fortschrittliche Mess-, Prozess- und Post-Process-Wafer-Messtechnik und verfügt über eine überlegene Wafer-Fokus-Steuerung, die eine überlegene Messung und Wiederholbarkeit bietet. Das System wurde entwickelt, um Nanometer-, Submikron- und Mikron-Eigenschaften auf einer Vielzahl von Substraten zu messen, einschließlich Silizium und Galliumarsenid. Es bietet auch eine Reihe von hochauflösenden, Hochgeschwindigkeits-Bildgebungs- und konfokalen Mikroskopie-Funktionen. TENCOR 5200 ist mit einer Auswahl an Sensoren und Sondenkarten ausgestattet, um eine Vielzahl von Testparametern zu messen, zu analysieren und zu überprüfen, wie kritische Merkmale, Merkmalsgröße, Linienbreite, Ebenheit usw. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer Vielzahl von verschiedenen Scantechniken, wie Photomask/Schabloneninspektion, Sidewall Imaging, 3D Topographie und Thin Film Analysis. Mit seiner breiten Palette von konfigurierbaren Optionen kann die Maschine angepasst werden, um die spezifischen Bedürfnisse jedes Kunden zu erfüllen. Das Tool bietet eine breite Palette von Optionen für Messung, Scannen, Bildgebung und Ausrichtung, so dass es auch die komplexesten Formen und Konturen messen kann. 5200 ist zudem mit einem leistungsstarken Toolset zur Analyse, Steuerung und Berichterstattung über alle Arten von Wafereigenschaften ausgestattet. Dies beinhaltet eine visuelle Berichtsfunktion, die es Ingenieuren ermöglicht, Testergebnisse schnell in einem benutzerfreundlichen Format zu überprüfen und zu analysieren. Darüber hinaus verfügt das Asset über einen Automation Sampling Planner, der die Definition und Erfassung der repräsentativsten Datenstapel unterstützt. Es bietet auch Remote-Diagnosen, mit denen Benutzer ihr Modell aus der Ferne beheben, diagnostizieren und steuern können. KLA/TENCOR 5200 bietet die modernsten Funktionen für Wafertests und Messtechnik in der Branche. Mit seiner unübertroffenen Leistung, Genauigkeit und Zuverlässigkeit ist es die perfekte Wahl für jede Anwendung, die Präzisionsmessungen und detaillierte Analysen erfordert.
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