Gebraucht KLA / TENCOR 5200XP #9157118 zu verkaufen

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ID: 9157118
Overlay measurement system Does not include monitor Thermal printer damaged.
KLA/TENCOR 5200XP ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für Präzision und Genauigkeit in Halbleiterherstellungsprozessen entwickelt wurde. Es ist ein fortschrittliches Wafer-Inspektionswerkzeug, das zur Erkennung und Messung von Defekten auf einer Waferoberfläche entwickelt wurde. Das System ist mit einer hochauflösenden Digitalkamera und einer großen automatisierten Vision Unit (AVS) ausgestattet, um Bilder von Testwafern zu analysieren und detaillierte messtechnische Daten mit einer Nennauflösung von 0,1 Mikrometern zu erfassen. KLA- 5200XP verwendet eine Reihe von Techniken zur Analyse von Wafern, einschließlich Lichtstreuung Bildgebung (LSI), reflektierte Energie Bildgebung (REI), und optische Helligkeit Bildgebung (OBI). Diese Techniken ermöglichen die Erkennung kleiner Defekte in schwer zugänglichen Bereichen des Wafers auch bei hochauflösenden Mikroskopen. Die Maschine unterstützt auch die Kontaktbildgebung, eine Technik, die verwendet wird, um extrem kleine Variationen in der Höhe der Kontakte auf der Waferoberfläche zu messen. TENCOR 5200 XP verwendet auch eine Reihe von automatisierten Wafer-Test- und Analyse-Tools, wie Fehler- und Toleranzanalyse und optische Parameteranalyse. Diese Werkzeuge ermöglichen eine vollständige Beurteilung von Waferoberflächenfehlern, um sicherzustellen, dass potenzielle Gefahren für das einwandfreie Funktionieren der Vorrichtung vor dem Herstellungsprozess identifiziert werden. Als automatisiertes Werkzeug kann TENCOR 5200XP die menschliche Arbeit reduzieren, die erforderlich ist, um den Inspektionsprozess zu verwalten und eine hohe Genauigkeit aufrechtzuerhalten. Es verfügt über eine geschlossene Fertigungsfähigkeit, die den Betrieb anderer Systeme in der Anlage steuern kann. Darüber hinaus können 5200XP zur Messung und Speicherung von Wafer-Test- und Messtechnik-Daten verwendet werden, um eine genauere Bewertung der aktuellen Prozessparameter zu ermöglichen. Zusammenfassend ist 5200 XP eine vielseitige Wafer-Test- und Messtechnik-Komponente, die eine genaue und hochauflösende Analyse von Waferoberflächen ermöglicht. Es verfügt über eine Reihe von automatisierten Test- und Messtechnik-Tools zur Erkennung und Messung von Fehlern, die eine bessere Kontrolle des Herstellungsprozesses ermöglichen. Das Modell umfasst auch fortschrittliche Visionstechnologie und geschlossene Schleifen Fertigungsfunktionen, um Arbeit zu reduzieren und die Genauigkeit zu maximieren.
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