Gebraucht KLA / TENCOR 5200XP #9230350 zu verkaufen

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ID: 9230350
Wafergröße: 6"-8"
Overlay measurement system, 6"-8".
KLA/TENCOR 5200XP ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für höchste Leistung und Genauigkeit bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und der Inline-Prozessüberwachung entwickelt wurde. Mit seinen fortschrittlichen Fähigkeiten bietet KLA 5200XP eine ideale Plattform für Prozess- und Produktcharakterisierung, Ertragsverbesserung sowie Fehlererkennung und -korrektur. Das System besteht aus einem Stufen-/Probermodul, einem Scan-/Inspektormodul und einem Analysatormodul. Das Stufe/Prober-Modul bietet eine Arbeitsfläche für den zu prüfenden Wafer sowie für eine Reihe automatisierter Wafer-Handling-Komponenten. Das Scan/Inspect-Modul verwendet einen einzigartigen Phased-Array-Abtastkopf, um Funktionen auf der oberen und unteren Oberfläche des Wafers genau zu messen. Das Auswertemodul liefert statistische und messtechnische Daten sowie Fehlerdatenanalysen. Das Gerät ist in der Lage, Merkmale, Dicke, Defekte und Topographie auf einzelnen und gemusterten Gerätewafern zu messen. Es verwendet eine breite Palette von eingebauten Sensoren für eine Vielzahl von Messtechnik, wie optische Reflektometrie, Kapazität, Wirbelstrom, Laserinterferometrie, Deflektometrie und Reflektometrie. TENCOR 5200 XP kommt auch mit einer breiten Palette von Spezialwerkzeugen, wie Infrarot (IR) Bildanalyse, erweiterte Bildgebung und Mustererkennung Fähigkeiten, fortschrittliche Technologien für Nanoskala Linienbreite Messung, und spezielle Werkzeuge für 3D-Topographie und Linienbreite Messungen. Die Maschine ist sehr vielseitig einsetzbar und kann entsprechend den spezifischen Anwendungsbedürfnissen konfiguriert werden. Es ist mit branchenüblichen Schnittstellen und Skalierbarkeit konzipiert, um sich einfach mit externen Instrumenten und Software zu verbinden. Es ist auch mit einer Reihe von erweiterten Zuverlässigkeitsmerkmalen konzipiert, um einen zuverlässigen und kontinuierlichen Betrieb zu gewährleisten. 5200 XP ist ideal für die Produkt- und Prozessvalidierung sowie für Produktions- und Ertragsverbesserungsaktivitäten. Es wird von einem erfahrenen Expertenteam unterstützt, das branchenführenden Kundensupport bietet. Mit diesen Funktionen ist KLA/TENCOR 5200 XP die perfekte Lösung für Hersteller, die die Effizienz steigern, den Ertrag verbessern und die Produktionskosten senken möchten.
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