Gebraucht KLA / TENCOR 5200XP #9279019 zu verkaufen

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ID: 9279019
Overlay measurement system With SMIF.
KLA/TENCOR 5200XP Wafer Testing and Metrology Equipment ist ein High-End-Wafer-Inspektionssystem, das speziell für die Halbleiterbauelement-Fertigungsindustrie entwickelt wurde. KLA 5200XP bietet fortschrittliche optische Messtechnik, präzise Fehlererkennung und präzise 2D- und 3D-Messungen. Diese Einheit ist in der Lage, über 24 verschiedene Topographien der Bildgebung schnell zu inspizieren, um auftretende Nanodefekte zu erkennen. Sein Laserinterferometer in patentiertem Design hilft dabei, eine sehr präzise Ausrichtung und Genauigkeit der optischen Messtechnik aufrechtzuerhalten, was eine zuverlässige Grundlage für eine genaue Fehlererkennung, 3D-Profilmessungen und Bildgebung bietet. Die TENCOR 5200 XP Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine ist mit einer reinraumkompatiblen Umgebung der Klasse 1000 und dem neuesten 5-Achsen-Scankopf ausgestattet, der in der Lage ist, in allen Funktionen mit 4-Quadranten-Präzisionsscanning bei hohen Geschwindigkeiten nachhaltig abzubilden. 5200XP verfügt über ein leistungsstarkes Mikroskop mit einem Zoomfeld von bis zu 300, das Funktionen bis unter 10nm effektiv inspiziert und fokussiert. Mit Hilfe der Computer Vision Technologie misst KLA/TENCOR 5200 XP jeden Parameter mit höchster Genauigkeit genau. Gepaart mit einem neuartigen Mustererkennungstool kann KLA 5200 XP mit seinem statistischen Positivfehler-Algorithmus (SPD) jede Art von Defekt schnell erkennen und messen. Das Asset umfasst auch eine High-End-Software-Suite mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche (GUI). Durch die Kombination von benutzereinstellbaren statistischen Einstellungen und flexiblen Inspektionskriterien kann die GUI auf spezifische Bedürfnisse zugeschnitten werden und bietet Anwendern die Möglichkeit, die Prozesssteuerung von Anfang bis Ende zu überwachen. Darüber hinaus umfasst der hochgradig anpassbare 5200 XP Echtzeit-Fehlerverfolgung, eine einzigartige und erweiterte Datenextraktionsfunktion und ein leistungsstarkes Berichtsmodul. Die Echtzeit-Bild-/Datenanalyse- und Berichtsfunktionen von TENCOR 5200XP sorgen bei Bedarf für schnelle Korrekturmaßnahmen. KLA/TENCOR 5200XP ist ein einfach zu bedienendes und dennoch leistungsfähiges Werkzeug, das Modellflexibilität bietet, die von Halbleiterbauelementetechnikern benötigt wird. Von der schnellen und genauen Fehlererkennung bis zur mehrfachen topographischen Bildgebung ist KLA 5200XP Wafer Testing and Metrology Equipment ein wesentliches Werkzeug für zuverlässige Inspektionsergebnisse.
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